то більше, ніж напруга змикання pn-переходів.
Скорегуємо значення пробивної напруги, вважаючи викривлені ділянки на краях маски циліндричними, а на кутах - сферичними:
В
В
Результати обчислень зведемо в таблицю:
, см -3
10 14
10 15
10 16
10 17
, В
293,4
88,9
26,1
7,2
, В
152,2
61,4
25,3
10,8
Приклад розрахунку:
для см -3 : В
В
В
Рис.2. Залежність максимальних напружень на стоці від концентрації домішок.
В
Виходячи зі знайденої раніше концентрації домішок см -3 , маємо найменше з отриманих напружень В, що задовольняє умові завдання (В).
III. Розрахунок порогової напруги:
Граничне напруга МДП-транзистора з індукованим каналом - це така напруга на затворі відносно витоку, при якому в каналі з'являється помітний струм стоку і виконується умова початку сильної інверсії, тобто поверхнева концентрація неосновних носіїв заряду в напівпровіднику під затвором стає рівною концентрації домішок.
Граничне напруга, коли витік закорочений з підкладкою, можна розрахувати за формулою:
В
- ефективний питома поверхневий заряд в діелектрику, - питомий заряд іонізованих домішок у збідненої області підкладки, - питома ємність шару діелектрика одиничної площі під затвором, - контактна різниця потенціалів між електродом затвора і підкладкою, - потенціал, відповідний положенню рівня Фермі в підкладці, відлічуваний від середини забороненої зони.
Заряд іонізованих домішок визначається співвідношенням:
,
де - товщина збідненої області під інверсним шаром прі.
Контактна різниця потенціалів між електродом затвора і підкладкою знаходиться зі співвідношення:
.
В
Приклад розрахунку:
В
В - для см -3
Кл/см 2
В
В
В якості металу електрода була обрана платина (Pt), тому що вона має найбільшу роботу виходу електронів, що збільшує граничну напругу.
Результати обчислень зведемо в таблицю:
, см -3
, В
, см -3
, В
Метал електродів
, еВ
, В
10 11
0,65
0,5 О‡ 10 -8
2,08
Al
4,1
0,88
10 12
0,71
0,6 О‡ 10 -8
2,06
Ni
4,5
1,28
10 13
0,79
0,7 О‡ 10 -8
2,04
Cu
4,4
1,18
10 14
0,92
0,8 О‡ 10 -8
2,02
Ag
4,3
1,08
10 15
1,22
0,9 О‡ 10 -8
2,00
Au
4,7
1,48
10 16
2,08
10 -8
1,98
Pt
5,3
2,08
У результаті розрахунків було отримано значення максимальне значення У при см -3 . Для того, щоб отримати В, п...
