з методів отримання такої інформації є еліпсометрія - високочутливий і точний поляризаційно-оптичний метод дослідження поверхонь і кордонів розділу різних середовищ (твердих, рідких, газоподібних), заснований на вивченні зміни стану поляризації світла після взаємодії його з поверхнею кордонів розділу цих середовищ.
Для отримання даних за допомогою вищезгаданого методу Сущеcтвует спеціальні установки - еліпсометрії. На малюнку 1 представлений один із таких приладів. br/>В
Рис. 1
поляризоване світло еліпсометрія діелектрик
Завдання і опис методу
Основним завданням є опис установки для отримання інформації про відбитому світлі. Далі розглянемо метод еліпсометрії. Перерахуємо ряд істотних переваг даного методу. p align="justify"> Насамперед - це його універсальність. Оптичні константи (показники заломлення і поглинання), які і визначають результат вимірювань даним методом, є фундаментальними характеристиками речовини. Практично будь-яке зовнішнє вплив призводить до зміни оптичних параметрів об'єкта. Тому за допомогою методу еліпсометрії можна характеризувати широкий спектр фізичних параметрів (якість кордонів розділу, структурну досконалість матеріалу, реєструвати зміни зразка зумовлені різними зовнішніми впливами і багато іншого). Елліпсометріческіе вимірювання мають високу чутливість (порядку 10 -3 по відношенню до виміру показника преломлнія).
Наступним важливою властивістю є неруйнуюче вплив вимірювань. Енергія фотонів на 3-4 порядки нижче ніж енергія електронів. Тому їх вплив на досліджуваний зразок нехтує мало в порівнянні з пучком електронів. Глибина на яку світло проникає в речовину становить приблизно сотні нанометрів. Саме з такої глибини відбувається отримання необхідної інформації. У зв'язку з цим немає необхідності проводити видалення шарів матеріалу, тим самим руйнуючи його. Необхідно тільки правильно розшифрувати отриману інформацію. p align="justify"> Немає необхідності проводити спеціальну підготовку зразка перед отриманням даних. Необхідно лише правильно його розташувати. Таким чином можна виділити ще одне достоїнство методу - це його експресному. Час витрачений на розміщення зразка та на проведення вимірювань складає всього кілька секунд. Також даний метод не сильно вимогливий до умов вимірювань. p align="justify"> Перейдемо до розгляду основних принципів методу. Суть методу може бути пояснена за допомогою наступного малюнка 2. br/>В
Рис. 2. Падаючий лінійно поляризоване світло стає (у загальному випадку) еліптично поляризованим. br/>
На досліджуваний зразок падає плоско поляризоване світло, який після відображення в загальному випадку стає еліптично поляризованим. p align="justify"> Параметри еліпса поляризації, тобто орієнтація його осей і ...
