азивають температурою випаровування речовини.
Швидкість випаровування речовини визначається кількістю речовини, испаряемого з одиниці площі в I сек, і виражається формулою
(1)
де Vісп - швидкість випаровування, г/(см 2 сек); РS - тиск насиченої пари (10-2 мм рт. ст.); М - молекулярна вага испаряемого речовини, г/моль; Т - температура випаровування речовини, К.
У табл.1 наведені значення температури плавлення, кипіння і випаровування, а також тиску парів і швидкості випаровування деяких матеріалів.
Формула (1) для визначення швидкості випаровування справедлива для так званого молекулярного режиму
Таблиця 1
МатериалобозначенияТемпература плавлення, 0 СТемпература кипіння, 0 здавленням парів при температурі плавлення, мм рт. ст. Температура випаровування при тиску парів 10 -2 мм рт. ст. Швидкість випаровування 10 -4 , г/(см 2 * сек) Алюміній Мідь Нікель Олово Срібло Хром А1 Сu Ni Sn Ag Cr660 1083 1455 232 961 1900 2060 2590 2730 2400 2210 22001,2 10 -6 10 березня -4 4,4 10 -3 0 1,7 10 -3 6,4 10 -4 996 1273 1510 1189 1047 12050 , 85 1,18 1,06 1,56 1,67 1,1
Конденсація парів на підкладці і освіта плівковою структури
Конденсацією називається процес переходу матеріалу з газоподібної фази в тверду. При конденсації на підкладці утворюється плівка сконденсованого матеріалу. p align="justify"> Конденсація плівки на підкладці залежить від температури підкладки. Існує така температура підкладки, звана критичної Т кр при перевищенні якої всі атоми відбиваються від підкладки і плівка не утворюється.
Дослідження конденсації і росту плівки в початковий момент часу її утворення вкрай важливі, оскільки властивості плівки в чому визначаються на цьому етапі.
На процес утворення плівки впливає стан поверхні підкладки. Великий вплив роблять також молекули залишкових газів, які порушують умови конденсації і структуру утворюється плівки. p align="justify"> Мо...
