РЕФЕРАТ
з дисципліни: "ФХОТЕС"
на тему: "Методи термічного випаровування"
Зміст
Метод термовакуумного напилення
Резистивна термічне випаровування у вакуумі
Забезпечення рівномірності товщини плівки
Метод лазерного випаровування
Переваги і недоліки термічного випаровування
Багатошарові системи
Метод термовакуумного напилення
Метод отримання тонких плівок термічним вакуумним напиленням є універсальним і найбільш освоєним методом. Розглянемо схему процесу термічного напилення (рис.1). br/>В
Рис 1 Схема процесу термічного напилення
Схема термічного напилення. Робоча камера вакуумної установки являє собою циліндричний металевий або скляний ковпак 1, який встановлюється на опорній плиті 7. Між ковпаком і плитою знаходиться гумова прокладка, що забезпечує вакуумплотное з'єднання. Усередині робочої камери розташовані: підкладка 4, яка закріплюється на тримачі 3, нагрівач підкладки 2 випарник 6 для нагріву напилюваних речовин. Між випарником і підкладкою встановлюється заслінка 5, що дозволяє в потрібний момент припиняти попадання испаряемого речовини на підкладку. Робоча камера відкачується вакуумним насосом. Залишковий тиск під ковпаком вимірюється спеціальним приладом - вакуумметром. Тиск вимірюється в мм рт. ст.
Процес термічного напилення в вакуумі розбивається на три етапи
. Випаровування речовини. p align="justify"> Поширення парів испаряемого речовини.
. Конденсація парів испаряемого речовини на підкладці і освіта плівковою структури. p align="justify"> Випаровування речовини. Випаровування речовини відбувається при його нагріванні. При нагріванні речовини кінетична енергія його атомів і молекул зростає і стає достатньою для того, щоб вони відірвалися від поверхні і поширилися в навколишньому просторі. З підвищенням температури енергія збільшується і кількість молекул, відриваються від поверхні, зростає.
Тверді речовини зазвичай при нагріванні розплавляються, а потім переходять в газоподібний стан. Деякі речовини переходять у газоподібний стан, минаючи рідку фазу. Такий процес називається сублімацією .
Температуру, при якій тиск парів речовини над його поверхнею складає 10 -2 мм рт. ст ., н...
