ологія розробляє шляхи отримання та використання наноструктур, однак фактично цей міжнародний термін розуміється ширше, ніж російський термін «технологія» / 10 /
Актуальність теми обумовлена ??значущістю нанотехнологій і мікроелектроніки в нашому житті, в глобальних масштабах світового суспільства.
Об'єктом: вивчення розвитку технологій в області мікро-і наноелектроніки.
Предмет: застосування нанотехнологій в науці і техніці.
Мета роботи: розгляд історичного удосконалення мікро-і нанотехнологій, а також аналіз перспектив розвитку.
Завдання:
ознайомиться з основами мікроскопії в електроніці;
простежити історію проектування технологічних мікрооб'єктів;
розглянути область застосування мікро-і нанотехнологій в науці і техніці.
1. Макросвіт, мікросвіт, наносвіт, світ елементарних частинок
.1 Основні положення квантової теорії
Ми будемо розглядати пристрій оточуючого нас світу з точки зору фізики - на мікроскопічному і навіть наноскопіческіх рівні. Закони цього світу суттєво і принципово відрізняються від законів звичного нам макроскопічного світу, в якому все доступно нашим органам почуттів. У макроскопічному світі механіка Ньютона є універсальним законом руху матеріальних точок, з яких можна побудувати все різноманіття суб'єктів оточуючого нас світу. Класична матеріальна точка - це маленький, локалізований в обмеженій області простору суб'єкт матерії, що рухається за законами ньютонівської механіки. Його рух у просторі є безперервним на всіх рівнях збільшення, тобто є континуумом.
Поняття континууму легко уявити, якщо звернутися до послідовності - числовому ряду: 1, 2, 3 ... Цей ряд по більшому рахунку і являє собою континуум - нескінченно безперервний ряд чисел, що не уривається при будь-якому його поглибленні до як завгодно малих величин і відмінностей. Точно також траєкторія якого тіла в макромеханіке є континуум, абсолютно безперервна лінія, відповідна руху матеріальної точки - простір ніде не переривається і не квантуется. Точно таким же континуумом є час, воно безперервно.
Межею подільності матерії, суб'єктом, що зберігає всі її властивості, є атомом. Ідея не нова 25 століть тому її висловили Демокріт і Левкіпп (спираючись при цьому на ідеї Фалеса Мілетського і Анаксимена). Вони винайшли першу дискретність - окремі атоми в порожньому просторі. А ці частинки, як прийнято вважати зараз, є квантами, окремими строго певними порціями енергії, оскільки А. Ейнштейн в 1905р. Встановив ідентичність маси і енергії. Атоми складаються з елементарних часток, яких до теперішнього часу відомо близько 3000, що викликає у фізиків деяку розгубленість, оскільки число елементарних частинок перевищує число елементів таблиці Д.І. Менделєєва (менше півтора сотень).
У мікросвіті спостережувані фізиками факти не відповідають і не сумісні з класичним ідеалом - безперервним описом у просторі та часі. У фізиці мікросвіту існують прогалини в безперервному описі будь-якого процесу, в просторово - часовому континуумі. Згідно з ідеями Анаксимена при розрідженні (при видаленні атомів на велику відстань один від одного) повинні змінитися властивості матерії. Але ...
