в газовій фазі, так і процесами на поверхні і в приповерхневих шарах підкладки.
Області газової фази і поверхні підкладки, в яких протікають гетерогенні хімічні реакції ХОГФ шарів, можуть бути об'єднані введенням поняття «реакційна зона». У загальному випадку товщина реакційної зони становить кілька атомних розмірів від поточної кордону осаждаемого шару.
A (g) + B (g)? D (s) + C (g)
Реакція протікає багатостадійну і, в загальному випадку, по декількох маршрутах Перший маршрут характеризується стадіями:
освіти з вихідних реагентів А і В в газовій фазі проміжного продукту I;
освіти з нього кінцевого побічного газоподібного продукту С.
Другий маршрут характеризується стадіями:
освіти з вихідних реагентів А і В в газовій фазі проміжного продукту I;
взаємодії проміжного продукту I з поверхнею зростаючого шару з утворенням проміжного продукту R;
- перетворення продукту R в реакційній зоні в структурні одиниці функціонального шару D і регенерації елемента чистої поверхні.
І нарешті, третій маршрут характеризується стадіями:
адсорбції реагентів А і В;
їх взаємодії в адсорбційному шарі з утворенням проміжного продукту R;
перетворення продукту R в структурні одиниці функціонального шару D.
Все викладене можна представити у вигляді матриці стехиометрических коефіцієнтів стадій. У даному поданні процес ХОГФ функціонального шару D описується як складна реакція, що протікає по трьох паралельних маршрутах I, II і III, кожен з яких є багатостадійним. Так перший маршрут (I) складається зі стадій 1 і 7, другий (II) - зі стадій 1, 5 і 6, а третій (III) - зі стадій 2, 3, 4 і 6.
хімічний осадження газовий реактор
Матриця стехиометрических коефіцієнтів стадій реакції
Таким чином, ХОГФ функціонального шару формулюється як задача хімічної кінетики многомаршрутной многостадийной реакції. У загальному вигляді така задача була вирішена. Для аналізу конкретних реакцій необхідно знання повного набору констант швидкостей окремих стадій, що представляє експериментальну задачу великої складності, але для її рішення можна використовувати підходи теорії кінетики гетерогенного каталізу.
У механізмі процесів ХОГФ з безперервною подачею реагентів можна виділити наступні основні стадії.
. Доставка вихідних реагентів (вихідного реагенту) (ІР) (initial reagent) в реактор (реакційну камеру установки).
. Доставка вихідних реагентів в реакторі до граничного шару газової фази у поверхні підкладки.
. Доставка вихідних реагентів через граничний шар до реакційної зоні (зоні осадження) у поверхні підкладки.
. Перетворення вихідних р...
