рощування контрольних монокристалів, механічна та хімічна обробка полікремнію;
аналітична лабораторія та лабораторія електрофізичних вимірів.
Таким чином, у прийнятій технологічній схемі передбачено використання в замкнутому циклі як хлорсіланов, так і водню і зведено до мінімуму кількість відходів виробництва.
Отримання трихлорсилану (ТХС) методом плазмохимического гідрування тетрахлорсілана:
Процес плазмового гідрування здійснюється на модернізованих ПКО КЗЦМ установках «полікристалам - 24М». В установку подається очищений тетрахлорсілан і тонкоочіщенний водень (1: 1). Вихідна з реактора суміш хлорсілан, водню і хлористого водню охолоджується і направляється на конденсацію.
Водневе відновлення кремнію з ТХС:
Для отримання полікристалічного кремнію з ТХС у відділенні водневого відновлення (зд. 26) розміщується 10 установок «полікристалам - 24М» і 3 установки «полікристалам - 24/54». У корпусі водневого відновлення №1 (зд. 1) розміщується 15 установок «полікристалам - 24/54».
Відновлення кремнію з ТХС відбувається з газової фази на поверхню кремнієвих прутків-заготовок. На установки подається очищений трихлорсилану і тонкоочіщенний водень (1: 6).
У відділенні водневого відновлення (зд. 26) парогазова суміш направляється на конденсацію, а в КВВ - 1 (зд. 1) - на установки регенерації водню в корпус регенерації водню (зд. 2).
Конденсація хлорсіланов з ПГС:
У ПГС після процесів плазмового гідрування містяться водень, три - і тетрахлорсілан, хлористий водень. Конденсація здійснюється на установках З 3803 (холодоносії - фреон з t=- 90 °° C і розсіл з t=15 °° C або рідкий азот і розсіл). Конденсат направляється на поділ і ректификационную очистку в корпус очищення хлоридів (зд. 3). Абгази від установки конденсації після компримування спрямовуються на газоочистку.
Ректифікаційна очистка хлорсіланов:
Для виробництва полікремнію ректифікаційна очистка вихідного і оборотного ТХ, очищення від полісіланхлорідов, поділ хлоридів, очищення оборотного ТХС, проводиться на ректифікаційних колонах діаметром 1200 мм в корпусі очищення хлоридів. Висота колон - близько 43 м.
Регенерація хлорсіланов і водню методом виморожування на установках «Овід» для КВВ - 1 (зд. 1):
Гази, що відходять від установок плазмового гідрування і водневого відновлення, направляються спочатку для відділення полісіланхлорідов в КВВ - 1 (зд. 1), а потім надходять в корпус регенерації водню, де після компримування до 1,8 ати, подаються на установки « ОВОД ». Джерелом холоду на установках є рідкий азот, випаровування азот, захоложенний водень зворотного потоку і розсіл. Сконденсовані Хлорсилани спрямовуються на ректифікацію в КОХ (зд. 3); регенерований водень - в КВВ - 1 (зд. 1), хлористий водень, після випаровування в скрубер в КОХ (зд. 3) або у виробництво трихлорсилану.
У процесі виробництва полікристалічного кремнію використовуються і утворюються такі речовини:
ТЕТРАХЛОРСІЛАН ТЕХНІЧНИЙ (ТХ) - рухома безбарвна рідина з їдким запахом. Температура кипіння 56,8 °° C. Температура плавлення - 68 °° C. Щільність при 20 °° C - 1,48 м/см3. Клас небезпеки 2. Сильно подразнює очі, слизові оболонки і верхні дихальні шляхи, при попаданні на шкіру викликає хімічні опіки. Гранично допустима концентрація - 1 мг/м3. Негорючий, пари вибухобезпечні.
трихлорсилану (ТХС) - рухома, безбарвна рідина з їдким запахом. Температура кипіння 31,5 °° C. Щільність при 20 °° C - 1,34 м/см3. Температура самозаймання 180 °° C. Температура спалаху - - 14 °° C. Нижня межа вибуховості парів з повітрям 6,6% об., Верхній - 91% об. Клас небезпеки 2. Гранично допустима концентрація у повітрі робочої зони - 1 мг/м3. Біологічна дія таке ж, як у тетрахлорсілана. Пари вибухонебезпечні.
ВОДЕНЬ - безбарвний газ без запаху, горючий. Щільність - 0,09 м/л. Нижня межа вибуховості з повітрям 4,09% об. Верхній
межа вибуховості з повітрям - 80% об. Температура самозаймання в суміші з повітрям 450 °° C і залежить від складу суміші. Біологічно інертний, але знижує вміст кисню в повітрі і може викликати задуху. Вибухонебезпечний в суміші з повітрям, киснем або хлором.
СУМІШ трихлорсилану І ТЕТРАХЛОРСІЛАНА (1: 1) - рухома безбарвна рідина з їдким запахом. Температура самозаймання - 198 °° C. Нижня межа вибуховості парів з повітрям 12,2% об., Верхній - 87,9% об. Температурний інтервал займання від - 16 °° C до + 37,5 °° C. Клас небезпеки 2. Біологічна дія аналогічно дії ТХ і ТХС. Пари вибухонебезпечні.
ПОЛІХЛОРСІЛАНИ (суміш з'єднань Si 2 Cl 6 , Si 3 Cl 8 , Si
