оменевої Гарматій.
Прилад має приставку магнетронного розпілення, яка Забезпечує:
універсальність процесса, что дозволяє отріматі плівкі металів, сталева и Напівпровідників;
скроню ШВИДКІСТЬ осадженим з можлівістю ее регулювання в широких межах;
- Збереження співвідношення компонентів при розпіленні Речовини складного складу;
- скроню адгезію плівок и підкладкі;
- можлівість Зміни Структури и властівостей плівок;
- розпорошених декількох матеріалів без розгерметізації ОБСЯГИ;
- невеликий тепловий Вплив на оброблювану структуру.
2. Науково-виробниче підприємство «КАРАТ»
Підприємство засновання в 1972 году и трівалій годину Було известно як Львівський науково-дослідний інститут матеріалів - провідна організація Міністерства радіопромісловості КОЛІШНИЙ СРСР в Галузі радіоелектронного матеріалознавства. З годиною НДІ матеріалів перейменувалося в науково-виробниче об'єднання КАРАТ и стало одним з найпотужніших галузевих науково-виробничих установ не только Львівської області, а й країни в цілому. З часів заснування АКЦІОНЕРНОГО ТОВАРИСТВА Концерн-Електрон предприятие є его ськладової Частинами. Сьогодні Науково-виробниче підприємство КАРАТ - ДОЧІРНЄ ПІДПРИЄМСТВО ВАТ Концерн-Електрон и Визначи провідною Наукова установою Міністерства промислової політики України по вопросам науково-технічного забезпечення за напрямком Матеріали електронної техніки (Свідоцтво № 042) i внесень до державного реєстру наукових установ України (Свідоцтво № 00341). Основним напрямком науково-виробничої діяльності підприємства є проведення ДОСЛІДЖЕНЬ, розробка технологій Отримання новітніх матеріалів для потреб мікрорадіоелектронікі та їх Впровадження у промислове виробництво, а такоже розробка, коордінація та контроль Виконання державного, міжгалузевіх и галузевих програм у Галузі радіоелектронного матеріалознавства.
Сьогодні науковці та Інженери НВП КАРАТ зосереджуються свои наукові и технологічні зусилля на поиска и розробці найбільш СУЧАСНИХ матеріалів, Які повінні Забезпечити прорив у розвитку національніх мікроелектронніх технологий малих Розмірів, пропорційнімі з характерними розмірамі атомних сіток, чі нанотехнологій, а такоже технологий, Які Використовують для создания приладів ОБРОБКИ информации Нові або відомі Фізичні явіща в твердому тілі, так званої функціональної твердотільної електроніки: магнітоелектронікі; акустоелектронікі; лінійної та нелінійної оптики, акустооптики и магнітооптікі; квантової електроніки; сенсорики; кріоелектронікі та ін. [6]
2.1 Тонкі плівки
Тонка плівка - фізичний Термін, Який означає куля матеріалу, товщина від кількох нанометрів до кількох Мікрон. Термін тонка плівка вікорістовується у фізіці в тихий випадка, коли Завдяк Малій товщіні куля матеріалу має Властивості, відмінні від властівостей об'ємного матеріалу. Например, в оптіці тонкими плівкамі назівають плівкі, товщина якіх порівняна з Довжину Хвилі світла, тобто в діапазоні десяти мікрона. З Іншого боці, для виготовлення напівпрозоріх дзеркал, потрібна ще Менша товщина в нано метровому діапазоні.
Тонкі плівки могут буті твердими або рідкімі (рідше - газоподібнімі). Склад, структура та Властивості тонких плівок могут відрізнятіся від таких для об'ємної фази, з якої утворена тонка плівка. До твердих тонких плівок відносяться оксидні плівки на поверхні металів и штучні плівкові покриття, что формуються на різніх Матеріалах з метою создания приладів мікроелектронікі, Запобігання корозії, Поліпшення зовнішнього виглядах
Рідкі тонкі плівки розділяють газоподібну дисперсних фазу в пінах и рідкі фази в емульсіях; Утворення стійкіх пін та емульсій можливо только при наявності ПАР у складі плівок. Рідкі тонкі плівки могут вінікаті поневоле между зернами в полікрісталічніх твердих тілах, если Поверхнево енергія кордону зерна перевіщує Поверхнево натяг На межі твердої и рідкої фаз більш, чем удвічі (Умова Гіббса-Сміта). Газоподібні тонкі плівки з помітнім годиною життя могут вінікнуті между Краплю та об'ємною рідіною в условиях випаровуваності
Визначення товщини тонких плівок часто проводять методами, засновання на вімірюванні інтенсівності відбітого світла, например, с помощью еліпсометрії; Використовують такоже електричної методи, засновані на візначенні ємності и провідності тонких плівок. Для Вивчення твердих тонких плівок застосовують Електрон мікроскопію, рентгенівську спектроскопію та Інші методи, розроблені для дослідження поверхні твердих тіл. Отримання тонких плівок и тонко плівковіх покриттів лежить в Основі ряду СУЧАСНИХ Галузо техніки, самперед мікроелектронікі.
