очних Полірувальником (круги обтягнуті замшею, фетром, батистом, велюром) за допомогою використання алмазної пасти, суспензії.
Полірування виконують у кілька етапів, поступово зменшуючи розмір зерна і твердість абразиву, а на останньому етапі повністю виключають абразивну дію на оброблюваний матеріал. Останній етап безабразивних впливу дозволяє повністю видалити механічно порушений шар з поверхні пластини.
Існує кілька методів полірування:
В· Механічне (Попереднє і проміжне) полірування. Його виконують алмазними суспензіями і пастами з розміром зерна від 3 до 1 мкм. Механічне полірування по своїй суті не відрізняється від шліфування, відмінність полягає лише в застосовуваних абразивних матеріалах, їх зернистості, матеріалі полірувальником і режимі обробки. При використанні для полірування алмазних суспензій і паст на поверхні пластин утворюється тонка мережа рисок ("алмазний фон"), що виникають під дією гострих ріжучих граней алмазних зерен. З метою видалення "Алмазного фону" і зменшення шороховатость поверхні іноді виконують механічне полірування більш м'якими абразивними матеріалами.
В· Тонке механічне полірування виконується м'якими полірувальними складами на основі оксидів алюмінію, кремнію, хрому, цирконію та інших розміром зерна менше 1 мкм за допомогою Полірувальником з ворсових матеріалів, у яких можуть втопитися субмікронні зерна порошку. Це зменшує робочу поверхню зерен і покращує якість обробки поверхні пластин.
В· Хіміко-механічне полірування. Воно відрізняється тим, що крім звичайного абразивного впливу поверхня піддається хімічному впливу. Поліруючі склади - суспензії, золі, гелі з субмікронних порошків оксидів кремнію (аеросил), цирконію, алюмінію - готуються на основі лугу. p> Виберемо механічне полірування, яке буде виконуватися алмазної суспензією з порошку АСМ3, одностороння, частота обертання полірувальником не більше 30 ... 40 об/хв. При переході на порошок АСМ1 частоту обертання полірувальником знижуємо, навантаження на пластину збільшуємо. Після полірування пластину треба ретельно промити в мильних розчинах. [9]
6.Фізіческая очищення. Для подальших операцій дуже важлива чистота поверхні. Тому перед початком, а також неодноразово протягом технологічного циклу виробляють очистку , видаляючи сторонні речовини за допомогою промивання, розчинення і т.п. Процеси очищення пластин і підкладок призначені для видалення забруднень до рівня, відповідного технологічно чистої поверхні. Найбільш важлива очищення поверхні після механічної обробки, перед термічними процесами, перед нанесенням різного роду покриттів, плівок, шарів. При очищенні в першу чергу необхідно видалити молекулярні органічні й хімічно пов'язані з поверхнею забруднення, а потім - залишкові іонні і атомарні. При фізичної рідинної очищення відбувається десорбція адсорбованих поверхнею забруднень без зміни їх складу, тобто без хімічних реакцій, шляхом простого розчинення. Оскільки можливо зворотний забруднення поверхні з рідини, що очищається, необхідно дотримуватися принципу її безперервного оновлення (Освіження). p> Знежирення (Відмивання) в органічних розчинниках (толуолі, чотирихлористому вуглеці, діхлоретане, спиртах: етиловому, метиловому, ізопропіловому та ін) застосовується для видалення з поверхні пластин (підкладок) жирів тваринного і рослинного походження, мінеральних масел, мастил, воску, парафіну та інших органічних і механічних сполук.
Знежирення зануренням виконують у спеціальних герметичних установках з двома-чотирма звареними в єдиний блок ваннами з рівнем рідини. Контрольованими параметрами процесу знежирення для даної кількості пластин і даної порції конкретного розчинника і час обробки.
Знежирення в парах розчинника застосовують для видалення малорозчинних з високою температурою плавлення забруднень. Для обробки в парах застосовують ізопропіловий спирт, фреони, хлоровані вуглеводні. Недоліки даного методу: необхідність попереднього очищення розчинників; необхідність створення герметичних робочих камер установок; великі витрати розчинника.
Ультразвукове знежирення виконують у спеціальних ваннах, дно і стінки яких роблять коливання з ультразвуковою частотою. Даний метод забезпечує набагато більшу продуктивність, і покращують якість не тільки знежирення, а й інших операцій рідинної обробки. [9]
7.Отмивка водою застосовується для очищення полярних розчинників після знежирення, від залишків травителей, флюсів, кислот, лугів, солей та інших сполук. Також як і в органічних розчинниках, відмивання у воді супроводжується розчиненням забруднень або механічним змиванням пилинок ворсинок та інших частинок. Відмивання виконують у підігрітої до 50 ... 60 В° С деионизованной воді. [7]
8.Хіміческая очищення. Цей вид обробки передбачає руйнування забруднень або поверхневого шару очищуваного о...
