простим збільшенням витрати газу неможливо. Однак для багатьох технологічних процесів потрібні не тільки високі швидкості плазмових потоків (полум'яне напилення), а й великі величини ентальпії плазмового струменя (плазмово-механічна обробка). Найбільш простим і сьогодні найчастіше використовуваним способом є застосування соплових насадок. Його основна мета - збільшення швидкості плазмового струменя, теплових потоків до нагрівається об'єктам і локалізація її впливу в малих обсягах. p align="justify"> У звичайних ВЧ-плазмотронах швидкості закінчення плазмового струменя лежать в межах 20-80 м/с. При використанні сопла на виході розрядної камери вдається збільшити швидкість до 1000 м/с. Однак, ВЧ-плазмотрони здатні працювати при швидкості витікання плазмового струменя до 1 м/с. Більше того, при стабілізації ВЧ_разряда стінками розрядної камери можлива робота ВЧ-плазмотрона без витрати плазмообразующено газу. Такий режим роботи ВЧ-плазмотронів використовується при сфероїдизації матеріалів або вирощуванні монокристалів. p align="justify">) Великі обсяги плазми.
В даний час отримані ВЧИ-розряди в розрядних камерах діаметром 150-200 мм. При правильній організації плазмового потоку вдається збільшити довжину плазмового струменя до декількох метрів без значної зміни її параметрів. Для досягнення цієї мети доцільно застосувати полігональні індуктори вче-розряду потужністю 1000 кВт. p align="justify">) Можливість збудження акустичних полів.
У ВЧ розрядах відзначаються три основних фізичних процесу, що призводять до виникнення акустичних ефектів, як у звуковому, так і в ультразвуковому діапазонах. По-перше, газодинамічні процеси, суттєві при підвищених швидкостях закінчення плазмового струменя (більше 50 м/с). Акустичні ефекти пов'язані з появою газодинамічних їх шумів. По-друге, теплові процеси, значні при генерації акустичних коливань у звуковому діапазоні. Генерація проводиться, наприклад, шляхом амплітудної модуляції високочастотного струму індуктора або електрода. У третіх, це акустичні процеси, зумовлені електронним ударом. Вплив останніх особливо помітно при низьких швидкостях збігу плазмового струменя, коли газодинамічні ефекти малі, і при високих частотах електромагнітних коливань, коли теплові процеси стають досить інерційними. p align="justify">) Спектральний склад випромінювання.
Експериментальні дані свідчать про те, що при роботі в кисні при потужності ВЧИ-розряду 10 кВт інтегральна потужність випромінювання дорівнює 1 кВт, при чому 0,3 кВт припадає на ультрафіолетовий діапазон. ВЧИ-розряд на повітрі потужністю 10 кВт випромінює 0,5 кВт, з них 0,35 кВт - в ультрафіолетовому діапазоні. З результатів експериментів випливає, що відносна величина потужності випромінювання зростає з підвищенням потужності ВЧИ-розряду. Специфікою вче-розрядів є низький рі...
