вень інтегрального випромінювання плазми, що становить не більше 1% потужності розряду. p align="justify">) Електромагнітні поля плазмового струменя.
ВЧ-розряд і плазмова струмінь представляють джерело електромагнітного випромінювання в робочому діапазоні частот ВЧ генератора. Пояснюється це тим, що ВЧ розряд і його плазмова струмінь працюють в режимі передавальної антени, через що між плазмової струменем і заземленими стінками технологічного устрою виникають електромагнітні поля великої напруги, які надають додаткове істотний вплив на протікання різних хімічних реакцій. При конструювання ВЧ-плазмотронів необхідно пам'ятати про їх полях і екранувати не тільки ВЧ-розряд, а й плазмову струмінь. p align="justify">) Можливість введення оброблюваного матеріалу безпосередньо в розряд з його осі.
Цим властивістю володіє тільки ВЧИ-розряд, так як електрична складова електромагнітного поля індуктора на його осі дорівнює нулю, завдяки чому не змінюються параметри ВЧИ-розряду та не порушується його стійкість.
) Використання як плазмообразующих різних агресивних газів і парів речовин.
Для цих цілей можуть бути рекомендовані ВЧИ-і вче-плазмотрони. При нагріванні газів складного складу необхідно передбачити засіб для запобігання осадження на стінки розрядної камери твердої фази. p align="justify">) Застосування декількох ВЧ-розрядів в одному ВЧ-плазмотроне.
В одному плазмотроне можливо запалити ВЧ-розряди послідовно, паралельно або зустрічно; розташувати розрядні камери під деяким кутом один до одного.
Завдання отримання теплового впливу плазмового струменя на великі площі може бути вирішена декількома плазмотронами, працюючими від одного генератора. Однак відомо дуже мале число спроб "запалити" кілька плазмотронів від одного генератора. Робота такої системи зазвичай нестійка, запалювання плазми в кожному з плазмотронів пов'язане з труднощами підстроювання генератора і підбору витрат газу. На малюнку 4.3 показана рідкісна фотографія чотирьох ВЧИ-плазмотронів, що працюють від одного генератора: частота генератора 1,76 МГц, потужність - 100 кВт, діаметри плазмотронів по 50 мм, робочий газ - аргон, потужність кожного плазмотрона становить приблизно 15 кВт, включення індукторів послідовно -паралельне.
) Створення нерівноважних умов протікання реакцій.
Разом з плазмовим струменем в реактор може вводитися акустична енергія, електромагнітна енергія, плазмової струмені може бути повідомлений потенціал щодо заземленого реактора, і через зону реакції будуть протікати додаткові струми зміщення і провідності. На плазмову струмінь, що виходить з ВЧИ-плазмотрона, накладають малопотужний вче-розряд. Всі ці заход...
