афрагми 60 см. Енергія імпульсу вимірюється після діафрагми.
Таблиця 5
Матеріал мішеніМасса порошку, гУдельная поверхню, м 2 / гЕнергія імпульсу, мДжAl0, 02614670Al0, 01112550Al0 ,003-30Al0, 060133132CeO 2 / Gd 2 O 3 0,12886135 CeO 2 / Gd 2 O 3 0,08593105 Al0 , 04512595CeO 2 / Gd 2 O 3 0,0509575 Al0, 03712870CeO 2 / Gd 2 O 3 0.0208952CeO 2 / Gd 2 O 3 0.003-31
Вихід порошку для Al і CeO 2 / Gd 2 O 3 в залежності від енергії лазерного імпульсу
Питома поверхня для Al і CeO 2 / Gd 2 O 3 в залежності від енергії імпульсу
З рис. 24 видно, що вихід порошку лінійно зростає із збільшенням енергії імпульсу. Енергія імпульсу змінюється в чотири рази і приблизно також змінюється вихід порошку, тобто кількість пари, частинок, плазми на шляху випромінювання зростає, а нелінійності пов'язаної з цим немає.
Взагалі, такий хід залежності, повністю суперечить даним, наведеним на рис. 23, якщо їх привести в однакових координатах. Пояснення цій розбіжності поки тільки одне - зміна щільності енергії за рахунок зміни площі плями призводить до того, що периферійна область плями перестає працювати на випаровування.
Залежність виходу порошку від частоти лазера
Мішень CeO 2 / Gd 2 O 3 знаходиться у фокусі, варто діафрагма, енергія імпульсу вимірюється після діафрагми на початку експерименту і в кінці - з цих значень береться середня величина. Час напрацювання від 3-х годин (17 Гц) до 40 хв (133 Гц).
Таблиця 6
Частота, ГцПроізводітельность, г / часЕнергія імпульсу, мДж170, 02161330,049149500.0571421330.078871120.06293850.067105540.03494
Залежність виходу порошку від частоти імпульсів
графіка не дуже показовий, тому що змінюється не тільки частота імпульсів, але і їх енергія. Щоб привести його до залежності від одного параметра використовуємо дані Рис. 24 для мішені CeO 2 / Gd 2 O 3 і аппроксимируем їх лінійною залежністю:
P=0,0012 E - 0,039,
де P - вихід порошку [г / год];
E - енергія імпульсу [мДж].
Наведемо дані по виходу порошку до однієї енергії імпульсу, взявши за базовий, режим з мінімальним виходом порошку (Е=161 мДж),
Тоді таблиця буде виглядати наступним чином:
Залежність виходу порошку від частоти проходження імпульсів, якщо дані привести до однієї енергії імпульсу
Таблиця 7
Частота, ГцПроізводітельность, г/час170, 02330,054500.0671330.1831120.132850.119540.071
В результаті цієї обробки зменшився розкид точок на графіку, залежність стала прямо пропорційною, що може бути непрямим підтвердженням того, що в цьому діапазоні частот процеси у поверхні мішені (плазма, пар, частки) і на її поверхні не змінюють процес абляції (кількість випаруваного матеріалу) послідовності імпульсів.
Залежність продуктивності порошку від щільності енергії випромінювання на мішені
З графіка видно, що оптимальний діапазон щільності енергії становить 60 - 90 ...
