и допомагають зберегти достатньо високою електронну температуру плазми в реакторі. p align="justify">) Використання низьких частот.
Принципово можливе отримання безелектродних розрядів при зниженні робочої частоти аж до промислової. [1]
Висновки
У даній роботі детально розглянуті два види високочастотні плазмотронів: високочастотний індукційний і високочастотний ємнісний. Коротко викладена історія створення високочастотних плазмотронів. p align="justify"> Докладно описані принципи дії різних видів високочастотних плазмотронів, наведені й обгрунтовані їхні переваги та недоліки, якості одержуваної плазми.
Розглянуто різні варіанти конструктивних рішень високочастотних плазмотронів Для ВЧИ-плазмотронів:
з водяним охолодженням;
з газовою термозахистом стінок розрядної камери;
з пористими розрядними камерами;
з металевими розрізними водоохолоджуваними розрядними камерами.
Для вче-плазмотронів:
лінійні;
лінійно-тороідальні;
з плоскою геометрією електродів;
з коаксіальною геометрією електродів.
Для кожної конструкції наведені опис, основні відмінності від плазмотронів інших типів, переваги та недоліки, робочі параметри.
Також описані джерела живлення високочастотних плазмотронів - високочастотні автогенератори. Представлені їх еквівалентні схеми, принципи з'єднання з плазмотроном, принципи вибору того чи іншого джерела живлення залежно від конструкції та умов роботи плазмотрона. Наведено список основних випускаються нині джерел живлення високочастотних плазмотронів із зазначенням їх робочих параметрів. p align="justify"> Розглянуто основні галузі застосування високочастотних плазмотронів, описані особливості технологічних процесів і вимоги до технічних характеристиками плазмотронів для цих процесів. Проведено порівняння ефективності використання в технологічних процесах дугових і високочастотних плазмотронів. Описано основні найбільш поширені процеси з використанням високочастотних плазмотронів:
синтез TiO 2 ;
сфероідізація гранульованих порошків;
сфероідізація порошків тугоплавких матеріалів;
отримання SiO;
спектральний аналіз.
Крім того описані способи інтенсифікації технологічних процесів з використанням високочастотної плазми.
Список літератури:
1. Низькотемпературна плазма. ВЧ-і СВЧ-плазмотрони/під ред. Дресвіна С.В., Русанова В.Д. - К.: Наука, 1992 р. - 320 с. p align="ju...
