уму на базі дифузійного паромасляного насоса Н-400.
НД включає в себе:
Дифузійний паромасляних Н-400
Вакуумний золотниковий насос АВЗ-20д
Магістраль відкачування дифузійного насоса
Затвор
Клапан вакуумний електромагнітний.
Клапан вакуумний електромеханічний
Клапан вакуумний електромеханічний.
Насос НВР-20 служить для форвакуумной відкачування дифузійного насоса та попередньої відкачки робочої камери.
В
Малюнок - 20 Вакуумна схема установки КВО.
На малюнку 20 представлена ​​схема вакуумної установки В«ПВН 2НВ» На даному малюнку VF 1 VF 2 VE1, VE2, VE3, VE4 - клапан вакуумний з електромагнітним приводом; Р1, СV1; VP1, VP2, VP3 - клапан вакуумний з електромеханічним приводом; VT1-затвор вакуумний з електромеханічним приводом; ND1 - насос вакуумний дифузійний паромасляних (Н-250); NL1 - форвакуумний насос (НВР-20); КМ1 - компресор.
В
Рисунок 21 - Зовнішній вигляд установки В«ПВН 2НВ».
На малюнку 21 представлено зовнішній вигляд установки В«ПВН 2НВ». Зліва представлено блок управленіяустановкі. На малюнку справа можна побачити робочу камеру установки В«ПВН 2НВ». p align="justify"> Включення установки і отримання вакууму:
Відкрити спільний вентиль подачі води на установку.
Відкрити вентиль подачі води на дифузійний насос.
Подати напругу на установку включивши тумблер В«380 В 50 ГцВ»
Включити джерело живлення постійного струму
Закрити клапан VЕ4 в положенні В«ЗакритоВ». При цьому на панелі має загорітися відповідна (VЕ4) індикаторна лампа червоного кольору. p align="justify"> Включити форвакуумний насос NL кнопкою В«ПУСК NLВ».
Відкрити клапан VР1, VР3 встановивши тумблер VР2, VР3 в положенні В«ВідкритоВ» При цьому на панелі має загорітися відповідна (VР1, VР3) індикаторна лампа зеленого кольору.
Після досягнення розрядження в камері ~ 10 Па (відповідає 2,5 mV (10 Па) за шкалою термопарного індикатора вакуумметра ВІТ - 3). p align="justify"> Закрити клапан VР1, відкрити клапан VР2
Включити дифузійний насос ND кнопкою В«ПУСК NDВ» на панелі. Вихід дифузійного насоса в робочий режим відбувається через ~ 40 Г· 45 хв.
Закрити клапан VР2, через 30 сек ~ 1 хв відкрити затвор VТ1.
Камеру відкачуємо до тиску 2? 10-7mV (10-2 Па) по іонізаційному датчику на ВІТ-3. Після проведення вищезгаданих процедур і досягнення необхідного розрядження в робочій камері установка готова до роботи з іонно-плазмовим...
