и пристроями. br/>
.2 Методика експерименту
а) виготовлення зразків
Для отримання тонких плівок використовувався магнетрон з жідкометалліческім мішенню. Плівки осаджувалися у вакуумному середовищі на скляні підкладки размером76х25 мм. p align="justify"> Перед напиленням підкладки були схильні механічному очищенню за допомогою суміші зубного порошку з водою. Потім скло поміщалося над магнетроном з жідкометалліческім мішенню, після чого вироблялося напилення тонких плівок в атмосфері аргону з використання свинцевої мішені. p align="justify"> Було вироблено напилення двадцяти двох зразків при різних режимах. Параметри напилення зразків представлені в таблицях 1 - 3. p align="justify"> б) вимірювання товщини
Вимірювання товщини тонкоплівкових покриттів здійснювалося за допомогою профілометра.
Перед початком вимірювання товщин тонких плівок була вирізана сходинка на середині покриття кожного із зразків за допомогою бритви.
Зразок з плівкою поміщається на предметний столик, щуп з гостро заточеною голкою опускається на поверхню зразка. Голка поступально переміщається по певній трасі відносно поверхні плівки. Механічні коливання голки перетворюються на електричні, які передаються на персональний комп'ютер для подальшої обробки та аналізу. p align="justify"> Після обробки на екрані ЕОМ відображається малюнок поверхні, профіль поверхні і основні параметри, за якими можна кількісно оцінити товщину обложеної плівки.
5. Результати експериментальних досліджень
.1 Вольтамперні характеристики
Напилювання вироблялося у вакуумному середовищі з використання магнетрона з теплоизолированной мішенню. Зовнішній вигляд даного магнетрона представлений на малюнку 22. br/>В
Малюнок 22 - Зовнішній вигляд МРС з теплоизолированной мішень.
В результаті експериментів було вироблено напилення двадцяти двох зразків. Зразки представляли собою тонкі плівки свинцю, обложені на скляні підкладки. Свинець Тпл = 600К. У ході напилення використовувалася додаткова магнітна система, яка представляла собою кільцеподібну магнітну пастку. Також змінювалося відстань між мішенню і підкладкою. Результати даного експерименту наведені нижче,
де: - відстань мішень-підкладка, см; - вихід на режим, с; - час напилення, с;
Рроб - тиск робочого газу, Па; - напруга на магнетроні, В; - струм розряду, А;
Р - потужність, Вт
Температура плавлення свинцю Тпл = 600К, тиск відкачування Р = 10-2 Па.
Таблиця 1 - Протокол напилення зразків Рідкофазний магнетроном з додатковою магнітною системою (15см)
Параметри напиленіяd, смt1, ct2, cPраб, Па15 320240 (800 Bт) 60 30 (800 Bт) 2 * 10-5 мВтНапиленіеР, Вт I, AU, B5000.905606001....
