турою для вимірювання параметрів технологічного процесу.
Одним з найважливіших параметрів вакуумних установок є продуктивність Q, яка при їх безперебійній роботі визначається кількістю виробів (підкладок), що обробляються в одиницю часу (шт/ч.),
, (1) де
- час технологічного впливу на підкладку (робоче);
- допоміжний час (неодружене).
Робочий час складається з часу попереднього нагрівання підкладки, часу нанесення плівки і часу охолодження підкладки перед розгерметизацією камери
(2)
холостого час складається з часу напуску повітря в робочу камеру і її відкриття, часу завантаження підкладок і часу відкачки робочої камери:
(3)
Робочий час визначається особливостями технологічного процесу і не може бути зменшена. Тому для підвищення продуктивності установок скорочують, а в деяких випадках і поєднують складові, що входять до неодружене час.
В залежності від виду виробництва, а також вимог продуктивності розрізняють три типи установок:
періодичної дії, використовувані в дрібносерійному виробництві, а також для відпрацювання технологічних процесів;
полунепреривного дії, використовувані в серійному виробництві з відносно частою зміною технологічного процесу;
безперервної дії, використовувані у великосерійному і масовому виробництві.
1.1.1 форвакуумним насоси
Рис. 2. Пластично-роторний механічний насос
Насоси цього типу має принцип дії, заснований на переміщенні газу внаслідок механічного руху робочих частин, при якому відбувається періодична зміна обсягу робочої камери.
Механічні форвакуумним і двохроторні насоси працюють в області середнього вакууму, т. е. при тиску від 10 2 до 10? 2 Па.
Механічні форвакуумним насоси застосовують у вакуумних установках для створення вакууму близько 10? 1 Па при швидкості дії порядку одиниць і десятків літрів в секунду. Найбільшого поширення набули пластинчато-роторні механічні насоси з масляним ущільненням (рис. 2, а), основними конструктивними елементами яких є корпус б, камера 2 і ротор 7.
Робоча камера розташована у заповненому вакуумним маслом корпусі б. У роторі мається наскрізна щілинна проріз, куди вставляються два ПЛАСТАЛ 4, між якими розташована пружина 3.
Впускний патрубок 8 проходить через кришку корпусу б, масляну ванну 5 і стінку камери 2 в її откачного простір, де обертається ротор 1 в напрямку, показаному стрілкою. Вісь обертання ротора збігається з його геометричною віссю, але зміщена вгорі по відношенню до осі робочої камери так, щоб він при обертанні постійно стикався у верхній часто з внутрішньою стінкою робочої камери. При обертанні ротора пластини 4, розтискати пружиною 3 і відцентровою силою обертання, ковзають по внутрішній циліндричній поверхні робочої камери уздовж прорізів то зближуючись, то віддаляючись один від одного. На вихідному патрубку робочої камери 2 розташований представляє собою підпружинену пластину вихлопної клапан, призначений для пропускання газу, що викидається з насоса, і не допускає його зворотного проникнення. При роботі насоса масло повинне знаходитися на певному рівні над клапаном. Рівень масла контролюють візуально через спеціальне віконце.
Шар масла над клапаном оберігає його від безпосереднього зіткнення з атмосферним повітрям, а також служить для охолодження робочої камери, так як особливістю пластинчато-роторних насосів є наявність великої кількості тертьових поверхонь, що обумовлює нагрів робочих частин. Крім того, частина масла, що надходить в робочий простір, служить для змащування тертьових частин і ущільнення зазорів в роторному механізмі насоса.
Принцип дії насоса пояснюється (рис. 2), б, де для простоти показані тільки його робоча камера з ротором і впускний і випускний патрубки. Напрямки руху відкачуваного газу і обертання ротора вказані стрілками. Римськими цифрами зазначені три характерні положення ротора, послідовно займані ним протягом одного півоберту.
Якщо прийняти положення I за початкова, то в цьому положенні пластина А, просунувшись вниз, створює розширення робочого об'єму з боку впускного патрубка 8, в результаті чого відбувається всмоктування газу з відкачуваного обсягу (власне відкачка). Область між рухомій вниз пластиною і впускним патрубком насоса називають об'ємом всмоктування.
Надходження газу в робочий об'єм припиняється п...
