изьких тиску настане стан високого вакууму.
У реальних електровакуумних приладнав основні характерні розміри в більшості віпадків становляит декілька міліметрів або декілька сантіметрів. Тоді Ступені вакууму можна Характеризувати примерно значень тісків (таблиця 1.3).
Таблиця 1.3. Ступені вакууму (області тісків) для характерних Розмірів L в декілька сантіметрів
степень вакуумуНізькій (НВ) Середній (СВ) Високий (ВВ) Надвісокій (НВВ) Область тісківПаP gt; 100P=100? 10-1P=10-1? 10-5P lt; 10-5ТорP gt; 1P= 1? 10-3P=10-7P lt; 10-7
Існує ще одна степень - так звань надвісокій вакуум (НВВ). Для него такоже gt; gt; L, а спеціальна назва надвісокій звязана з очень великими труднощамі его одержании [9].
поклал в основу співвідношення между и L можна сделать ще ряд зауваження Стосовно режімів потоку газових молекул через трубопроводи. Так, при низьких вакуумі ( lt; lt; L), потік газу назівається вязкіснім, газ тече як рідина. Зіткнення молекул между собою при ціх условиях відбуваються набагато Частіше, чем зі стінкамі трубопроводу. Кількість газу, что переноситися через поперечний переріз трубопроводу за одиницю годині (пропускну здатність трубопроводу) при вязкісному потоці пропорційна різниці тісків на кінцях трубопроводу.
У условиях високого вакууму ( gt; gt; L) потік газу назівається молекулярних. Молекули при цьом рухаються Незалежності один від одної, Зіткнення відбуваються лишь зі стінкамі трубопроводу. При ціх условиях Пропускна здатність трубопроводу не поклади від різниці тісків, а візначається лишь геометричність розмірамі трубопроводу.
1.2 Загальна характеристика вакуумних насосів
Всі вакуумні насоси, тобто Пристрої для відкачування газів, можна розділіті по прізначанню на нізьковакуумні и вісоковакуумні. У залежності від фізичних закономірностей покладених в основу роботи насоса говорять про механічні, діфузійні, сорбційні, іонні насоси. Крім того, шкірні вид насосів Включає в собі декілька підвідів.
Основними параметрами будь-которого насоса являються: ШВИДКІСТЬ відкачування, граничний ТИСК, Найбільший Тиск запуску та деякі Інші. [1]
. ШВИДКІСТЬ відкачування насоса S візначається як про єм газу, Який відкачується насосом за одиницю годині через вхідній отвір насоса при даного тиску.
P=const,,
. Граничний Тиск Ргр.- Мінімальній Тиск (максимальний розрідження), Який может создать Сейчас насос, працюючий сам на собі, без відкачуваного обєкта.
. Найбільший, лещата запуску Рзап - максимальний Тиск газів в насосі, при якому насос может початиться роботові.
Всі ЦІ характеристики визначаються видом насоса, принципом его роботи.
1.3 ОБЛАСТІ Дії вакуумних насосів
Як вже відзначалося, у залежності від вакууму, Який створюється тім чі іншім насосом, їх можна класіфікуваті на нізьковакуумні, вісоковакуумні та надвісоковакуумні. [4] На рис.1.4 представлені діапазоні робочих тісків вакуумних насосів, Які найчастіше Використовують у вакуумній техніці.
Рис.1.4 ОБЛАСТІ Дії вакуумних насосів
Нізьковакуумні насоси Працюють в області тісків 105-102 Па (760-1 Тор). До них відносяться деякі механічні насоси (поршневі, водокільцеві та ін.) Та деякі струменеві насоси (водоструменеві, газо струменеві та ін.). Робочий ДІАПАЗОН тісків ціх насосів й достатньо вузький, смороду НЕ здобули широкого использование у вакуумній техніці и застосовуються для спеціальніх цілей (медицина, фармакологія та ін.).
Середньовакуумні насоси Працюють в області тісків 102-10-1 Па (1-10-3 Тор), правда деякі з них здатні (Не очень Довгий) працювати и при більш високих лещатах. До них відносяться механічні насоси (з масляним ущільненням та двороторні), пароструменеві (парортутні и паромасляні ежекторні насоси), паромасляні бустерні та адсорбційні насоси.
Вісоковакуумні насоси Працюють в області тісків 10-1-10-5Па (10-3-10-7 Тор). До них відносяться пароструменеві діфузійні насоси, турбомолекулярні насоси, сорбційні та сорбційно-іонні (іонно-гетерні) насоси, а такоже кріогенні насоси (конденсаційні и кріосорбційні).
Надвісоковакуумні насоси Працюють в області тісків менших 10-5 Па (10-7 Тор). Для одержании високого и надвісокого вакууму могут використовуват одні и ті ж насоси. Як видно з рис. 1.2, області Дії вісоковакуумніх и надвісоковакуумніх насосів перекріваються.
Для правильного Вибори и использование насосів та патенти знаті ще цілий ряд характеристик (Не повязаних з віщерозглянутімі) - споживання електроенергії, охолоджуючої води, маса насоса та его розміри, рівень шумів, вібрацій, Які створюються при работе насоса, та ін. Необходимо такоже знаті годину запуску та зупинки насоса, склад залішковіх газів, можлівість сумісної роботи насосів та ін.
