актеристики, зазначені в табл. 2. br/>
. Технологічні процеси виготовлення фотошаблонів кругових оптичних шкал
Фотошаблони можна розділити на два типи:
) Робочі фотошаблони - це фотошаблони, що використовуються безпосередньо в технологічних процесах фотолітографії при виготовленні лімбів в операції експонування. Вони можуть бути виготовлені фотолітографічними способами або за допомогою генератора зображень. p align="justify">) Фотошаблони-оригінали - це фотошаблони, використовувані для виготовлення робочих фотошаблонів лімбів способами фотолітографії. Вони можуть бути виготовлені тільки з допомогою генератора зображень. p align="justify"> фотолітографічне способи дозволяють виготовляти робочі фотошаблони кругових оптичних шкал, мають характеристики, зазначені в табл. 1. p align="justify"> Для виготовлення фотошаблонів, як оригіналів, так і робочих використовується генератор зображень моделі CLWS -300, в якому для синтезу топології застосовується термохімічна технологія запису на плівках хрому. Основна відмінність генератора зображень моделі CLWS - 300 від генераторів зображень, застосовуваних у мікроелектронної промисловості, полягає в тому, що запис топології проводиться в полярній системі координат. Це дозволяє отримувати фотошаблони лімбів, що мають високі технічні характеристики. У процесі термохімічної запису відбувається окислення хромового маскуючого покриття під дією лазерного променя. У результаті цього відбувається зміна властивостей покриття: швидкість травлення окисленого покриття по відношенню до спеціального травителях зменшується, що дозволяє формувати необхідну топологію.
Основні операції технологічного процесу термохімічної запису на плівках хрому: підготовка креслення фотошаблона в Autocad , запис топології на генераторі зображень на хромованих скляних заготовках, травлення хромового покриття в спеціальному травителях, контроль топології, контроль лінійних і кутових параметрів, контроль дефектності. оптичний шкала фотошаблон технічний
Таблиця 2
Технічні характеристики термохімічної технології запису на плівках хрому, використовуваної на генераторі зображень CLWS -300
№ п/пХарактеристикаЗначение1Минимальная ширина елементів топології, мкм12Угловая похибка розташування діаметрів осей штрихів (для діаметра шкали 90 мм), кут. сек. В± 13Неравномерность ширини штрихів, мкм0, 24Неровность краю елементів топології, мкм0, 15Дефектность хромового покритіяОбеспечівает отримання копій, які мають клас чистоти 0-10
...
