ювань .
.2.1 Датчики тиску
Датчик тиску - пристрій, фізичні параметри якого змінюються залежно від тиску вимірюваного середовища (рідини, гази, пара). У датчиках тиск вимірюваного середовища перетвориться в уніфікований пневматичний, електричний сигнали або цифровий код. p align="justify"> Датчик тиску складається з первинного перетворювача тиску, у складі якого чутливий елемент - приймач тиску, схеми вторинної обробки сигналу, різних по конструкції корпусних деталей, у тому числі для герметичного з'єднання датчика з об'єктом і захисту від зовнішніх впливів і пристрої виведення інформаційного сигналу. Основними відмінностями одних приладів від інших є межі вимірів, динамічні та частотні діапазони, точність реєстрації тиску, допустимі умови експлуатації, масогабаритні характеристики, які залежать від принципу перетворення тиску в електричний сигнал: тензометричний, п'єзорезистивного, ємнісний, індуктивний, резонансний, іонізаційний, п'єзоелектричний і інші.
.2.1.1 Тензометричний метод
Чутливі елементи датчиків базуються на принципі зміни опору при деформації тензорезисторів, приклеєних до пружного елементу, який деформується під дією тиску.
.2.1.2 п'єзорезистивного метод
Метод заснований на інтегральних чутливих елементах з монокристалічного кремнію. Кремнієві перетворювачі мають високу чутливість завдяки зміні питомої об'ємного опору напівпровідника при деформації тиском. Для вимірювання тиску чистих неагресивних середовищ застосовуються, так звані, Low cost - рішення, засновані на використанні чутливих елементів або без захисту, або з захистом силіконовим гелем. Для вимірювання агресивних середовищ і більшості промислових застосувань використовується перетворювач тиску в герметичному метало-скляному корпусі, з розділовою діафрагмою з нержавіючої сталі, що передає тиск вимірюваного середовища за допомогою кремнийорганической рідини. br/>
.2.1.3 Ємнісної метод
Ємнісні перетворювачі використовують метод зміни ємності конденсатора при зміні відстані між обкладинками. Відомі керамічні або кремнієві ємнісні первинні перетворювачі тиску та перетворювачі, виконані з використанням пружної металевої мембрани. При зміні тиску мембрана з електродом деформується і відбувається зміна ємності. В елементі з кераміки або кремнію, простір між обкладинками зазвичай заповнено маслом або іншого органічного рідиною. Недолік - нелінійна залежність ємності від прикладеного тиску. br/>
.2.1.4 Резонансний метод
В основі методу лежить зміна резонансної частоти коливного пружного елемента при деформуванні його силою або тиском. Це і пояснює високу стабільність датчиків і високі вихідні характеристики приладу. До недоліків можна віднести індивідуальну характеристику перетворення тиску, зна...