омендується продування ущільнень валом азоту Витрата на продувку становить 5-15 нл/мінТіп ущільнень валаПо замовчуванням - з ущільнення валу Simrit Viton Під замовлення можливе виготовлення з торцеві механічні ущільнення: Маса без мотора, кг6276115135208245320360
Табл. 6. Основні характеристики двоступеневих пластинчато-роторні вакуумних насосів
Характеристики насосів серії W2V.Модель насосаБистрота відкачування (50 Гц), м3/чПредельное залишковий тиск, Па із закритим газобалластом Граничне залишковий тиск, Па з відкритим газобалластом Маса кгВходной фланецВиходной фланецГабарітние розміри, ммМалогабарітние насосиПластінчато-роторний вакуумний насос W2V052,46,7x10 - 1 6.714NW16NW16120х374х200Лабораторние насосиПластінчато-роторний вакуумний насос W2V1056,7x10 - 2 6,719NW25 (Ф26) NW25 (Ф26) 150х398х251Пластінчато-роторний вакуумний насос W2V20106,7x10 - 2 6,721NW25 (Ф26) NW25 (Ф26) 150x434x251Пластінчато-роторний вакуумний насос W2V40206,7x10 - 2 6,729NW25 (Ф26) NW25 (Ф26) 170x490x293Пластінчато-роторний вакуумний насос W2V60306,7x10 -2 6,751.5NW40 (Ф36) NW40 (Ф36) 206x609x313Промишленние насосиПластінчато-роторний вакуумний насос W2V80406,7x10 - 2 6,767NW40 (Ф36) NW40 (Ф36) 226x624x346Пластінчато-роторний вакуумний насос W2V100506,7x10 - 2 6,780NW40 (Ф36) NW40 (Ф36) 264x664x442Пластінчато-роторний вакуумний насос W2V150756,7x10 - 2 6,7110NW40 (Ф36) NW40 (Ф36) 256x777.5x420.7Пластінчато-роторний вакуумний насос W2V180906,7x10 - 2 6,7120NW40 (Ф36) NW40 (Ф36) 256x777.5x420.7
2. Високовакуумні кошти відкачування
форвакуумний відкачка масло
У даній області також простежується чітке прагнення позбутися масел і робочих рідин. Наприклад, незважаючи на дешевизну дифузійних насосів, їх використання намагаються максимально скоротити в багатьох областях, до останнього часу вважалися нечутливими до залишковим парам робочих рідин у вакуумній камері - електротермічне обладнання, вакуумні печі тощо Там, де повна відмова неможливий або занадто доріг використовуються різні пастки, що знижують кількість масляних пари в робочій області.
Найбільш активно розвиваються високовакуумними безмасляними откачного засобами є турбомолекулярні і кріовакуумние насоси. Магніторозрядними насоси в останні роки розвивалися не настільки сильно, в силу специфічності додатків їх використання та обмеженості їх продуктивності в 1000-1200 л/с. Однак, потрібно зазначити, що даний тип насосів активно використовується в додатках, де необхідно отримувати високий і надвисокий вакуум (до 10-10 торр) і утримувати його тривалий час (наприклад, кілька місяців) - ускорительно-накопичувальні системи, фізика елементарних частинок і т.п.
В області турбомолекулярних насосів можна відзначити відразу кілька тенденцій:
· активне поширення гібридних конструкцій, об'єднуючих турбомолекулярний і молекулярну щаблі. Це дозволяє краще відкачувати легкі гази, такі як гелій і водень, і збільшувати максимально допустимий тиск в форвакуумной лінії. На даний момент доступні моделі насосів, що мають штатний постійний тиск в форвакуумной лінії до 10-12 мбар;
· домінування насосів на магнітному підвісі ротора (рис. 5). Дана технологія дозволяє істотно збільшити наробіток на відмову підшипників ротора, оскільки він обертається, левітіруя у вакуумі в магнітному полі, і тертя повністю відсутня. Ці насоси повністю гарантують технологічний процес від попадання навіть одиничних молекул мастила, оскільки вона абсолютно відсутній, на відміну від насосів з рідкою або змазкою, яка хоч і знаходиться всередині закритих керамічних підшипників і має вкрай малим тиском насичених парів - зазвичай рівня 10-14 мбар , все ж допускає теоретичне потрапляння одиночних молекул в відсмоктується обсяг. Хоча і дані турбомолекулярні насоси зазвичай називають безмасляними, оскільки при їх роботі вкрай низька ймовірність потрапляння навіть одиночних молекул мастила в відсмоктується обсяг. Насоси з магнітним підвісом ротора більш чутливі до різкого зростання тиску у вакуумній камері («прориву атмосфери»), оскільки їх ротори відчувають у тому числі і ударне навантаження при посадці на повній швидкості на резервні підшипники. Зазвичай виробники обумовлюють характерне кількість таких аварійних посадок до необхідності технічного обслуговування - воно може становити від декількох десятків до декількох сотень.
У даному сегменті свою частку мають всі провідні виробники вакуумного устаткування - Alcatel, Busch, Edwards, Leybold, Pfeiffer, Osaka Vacuum, Shimadzu, Ulvac, Varian.
Рис. 5. Турбомолекулярний насос на магнітному підвісі
У сегменті кріовакуумних насосів розвиток позна...
