чається, насамперед на збільшенні надійності роботи кріоголовкі і компресора, а також, до створення «ударних» моделей і, відповідно, завоювання того чи іншого сектора ринку. Наприклад, компанія Suzuki Shokan розробила і виробляє кріонасос з Ду 320 мм, продуктивність якого в 1,5 рази вище, ніж у конкурентів. Це дозволило у відносно короткий термін зайняти домінуюче положення на напівпровідниковому ринку Японії і Південно-східної Азії в області обробки 300 мм підкладок, а наявність одних з кращих по продуктивності і надійності компресорів і кріоголовок і для насосів інших розмірів дає можливість компанії на рівних змагатися з таким визнаним грандом японської вакуумної техніки як Ulvac, якою подібний підхід свого часу дозволив завоювати лідируючі позиції в області 200 мм підкладок. На ринках США і Європи лідером є компанія CTI Cryogenics, помітні позиції також мають Austin Scientific і SHI Cryogenics.
В області кріонасосов великої продуктивності з Ду понад 500 мм (рис. 6) свої рішення пропонують такі компанії, як HSR, Leybold, PHPK, Suzuki Shokan, Ulvac.
Рис. 6. Кріонасос Ду 600 мм
Гібридні турбомолекулярні насоси з підшипниками кочення (EBARA)
Серія EBT-F (TG-F). Гібридні турбомолекулярні насоси з інтегрованими молекулярними ступенями і металокерамічними підшипниками з консистентним мастилом
МодельБистрота дії по N2, л/сПредельное залишковий тиск, мм. рт. стМакс. споживана потужність, кВтМакс. форвакуумним тиск, мм. рт. стМін. маса (залежить від типу фланця), кгМін. час старту, мінEBT70F (TG70F) 703,8Е - 9-932EBT220F (TG220F) 2207,5E - 90,592,65,51EBT240F (TG240F) 2407,5E - 9-5,37,37,5EBT350F (TG350F) 3507,5E - 90,612,662 EBT450F (TG450F) 4507,5E - 90,612,672EBT800F (TG800F) 8207,5E - 90,613,2265,5EBT1100F (TG1100F) 11007,5E - 90,613,2275,5EBT1400F (TG1400F) 14007,5E - 90,813,2295,5EBT2400F (TG2400F) 24007 , 5E - 91,22455
турбомолекулярний насоси з інтегрованим контролером і на магнітному підвісі Edwards (Англія)
Модель насосаВходной фланецБистрота відкачування N 2, л/сБистрота відкачування H 2, л/сБистрота відкачування Ar, л/сСтепень стиснення N 2 Ступінь стиснення H 2 Max. газовий потік N 2, sccmMax. газовий потік Ar, sccmПредельное залишковий тиск, ПаSTP-iX455ISO100-K300300- gt; 1 * 10 8 gt; 1 * 10 4 - 6.5? 10 - 6 DN100CF1? 10 - 8 ISO160-K450460- gt; 1 * 10 8 gt; 1 * 10 4 - 6.5? 10 - 6 DN160CF1? 10 - 8 STP-iXR1606ISO160-F900600- gt; 1 * 10 8 1 * 10 3 47001800 1? 10 - 7 VG150ISO200-F/ISO250-F16001200- gt; 1 * 10 8 1 * 10 3 47001800 1? 10 - 7 VG200STP-iXA2206CISO250-F2200-1900 gt; 1 * 10 8 1 * 10 4 30001400 1? 10 - 7 DN250CFSTP-iXA3306CISO250-F2650-2300 gt; 1 * 10 8 2 * 10 3 40002100 1? 10 - 7 DN250CFISO320-F3200-2800 gt; 1 * 10 8 2 * 10 3 40002100 1? 10 - 7 DN320CFSTP-iXA4506CISO320-F40002700- gt; 1 * 10 8 1 * 10 3 43002600 1? 10 - 7
турбомолекулярний насоси на магнітному підвісі Shimadzu (Японія)
МодельTMP - 203TMP - 803TMP - 1003TMP - 2003Охлажденіеводяное/возд.водяное/возд.водяное/возд.водяное/возд.Предельний вакуум, Па (Торр) 1,3 * 10-8 (10-10) 1,3 * 10-9 (10-11) 1,3 * 10-9 (10-11) 1,3 * 10-9 (10-11) Максимальний тиск на вході (вода/повітря), Па (Торр) 200/1, 3 (1,5/0,01) 400/1,3 (3/0,01) 400/1,3 (3/0,01) 67/0,4 (0,5/0,003) Максимальний тиск на виході (вода/повітря), Па (Торр) 400/40 (3/0,3) 667/40 (5/0,3) 667/40 (5/0,3) 267/40 (2/0,3) Бистрота дії, л/с: по азоту19080010802000по гелію1408009301800по водороду1207007901600Степень стиснення: по азоту1 * 1091 * 109 gt; 1 * 1091 * 109по гелію6 * +1048 * +1048 * +1047 * 105по водороду4 * 1034 * 1034 * 1031,4 * 104Время виходу на режим, Минне більш 5не більш 9Рабочая оріентаціяЛюбаяЛюбаяЛюбаяЛюбаяТемпература прогріву на вхідному фланці, оС lt; 120 lt; 120 lt; 120 lt; 120Входной фланець стандартів ISO, ConFlatДу100Ду160Ду200Ду250Рекомендуемая швидкість дії форвакуумного насоса, л/хв (м3/ч) gt; 200 ( gt; 12) gt; 500 ( gt ; 30) gt; 500 ( gt; 30) gt; 500 ( gt; 30) Маса, кг9313255
турбомолекулярний насоси на магнітному підвісі Pfeiffer (Німеччина)
МодельHiPace 300 MHiPace 700 MHiPace 800 MФланец - всмоктування, ISO-K, ISO-F, CF - вихлопу, ISO-KF - напуску атмосфериDN100 DN16 G1/8 »DN160 DN25 G1/8» DN200 DN25 G1/8 »Швидкість відкачування, л/с - по Азоту (N 2) - по Гелію (Не) - по водню (Н 2) - по аргону (Ar) 255215170 250685 600480 660790 625500 775Степень стиснення - по Азоту ( N 2) - по Гелію (Не) - по водню (Н 2) - по аргону (Ar) gt; 1 * 10 +11 gt; 1 * 10 8 5 * 10 5 gt; 1 * 10 +11 gt; 1 * 10 +11 gt; 1 * 10 7 2 * 10 5 gt; 1 * 10 11 gt; 1 * 10 11 gt; 1 * 10 7 2 * 10 5 gt; 1 * 10 11 Граничне розрядження, Па lt; 1 ...
