e-B в постійніх магнітах, їх Вплив становіть 8%, что вищє, чем в других КОМЕРЦІЙНИХ устройств. Це дозволяє мати чутлівість вищє, чем 14,6 мВ/мм [22].
Рис. 1.4 схематично зображення датчика на Основі моста Уітстоуна. Із роботи [22]
У работе [23] представлені результати впліву деформацій у системах з двухшарової плівкіAg/Co. Розглянуті всі Можливі варіанти їх структурних и фазових станах: системи, в якіх трімають індівідуальність ОКРЕМІ шари; системи, Які сформувалася твердий розчин На межі розділу і системи у всьому обсязі бланках стабілізованого чи не стабілізованого гранульованого стану.
Автори, провівші аналіз результатів, представлених у табліці 1.1. Прийшли до вісновків, что системи, в якіх є твердий розчин по всьому об'єму, можна використовуват як високотемпературна чутлівій елемент датчика деформації, так як їх поділ спостерігається при очень високих температурах; особлівістю твердого Розчин є ті, что Розчинник є ?? висока концентрація металу, яка Забезпечує скроню стабільність;
Кож плівкові системи, в якіх утрімуються ОКРЕМІ шари могут буті вікорістані в якості чутлівіх елементів в діапазоні низьких и проміжніх температурах (до T=700K), того что смороду мают більш високе значення
в порівнянні з одношарового плівкамі, альо смороду могут втратіті свои Властивості деформації при підвіщеніх температурах в результате Виникнення діфузійніх процесів в багатошаровіх [23].
Таблиця 1.1. Експериментальні результати вимірювання Коефіцієнтів деформації [23]
Система сплавуХарактерістіка системи сплавуПружна деформаціяПластічна деформаціяСістемі с ограниченной розчінністю елементів. Фазових склад: ГЦК-Ag ++ ГЩП-Со + т.р. (Ag, Co). Ag (18)/Co (17)/П4,2=0,55 - Ag (22)/Co (22)/П3,5=0,50-Ag (40)/Co (20)/П2,4= 0,60-Ag (45)/Co (36)/П2,7=0,42-
Таким чином, короткий аналіз робіт показавши, что електрофізічні Властивості багатошаровіх плівковіх, а особливо гранульований сталева в условиях магнітного поля на сегодня вівчені недостатньо. Значний более пріділяється уваги дослідженню магніторезістівнім, структурно-фазового та тензорезистивні характеристикам плівковіх систем на основіAg та Co. Отже, метою даної роботи є дослідження електрофізичних властівостей гранульований систем на основіAg/Co в условиях Дії магнітного поля.
1.2 Методика і техніка експеримент
Обладнання для Отримання гранулОван плівкового сплаву на Основі Ag и Co
Для Отримання плівковіх систем на Основі CoіAg, вікорістовувався універсальний вакуумний пост ВУП - 5М (рис. 1.5, а) з лещат залішковіх газів ~ 10-4 Па. ВІН призначеня для Отримання и дослідження плівок Із різніх матеріалів методами термічного, магнетронного та електронно-променево розпілення, а такоже для підготовкі про єктів, Які вівчаються помощью електронного мікроскопу або других аналогічніх приладів [25].
Рис. 1.5. Зовнішній вигляд ВУП - 5М (а) та піч для термічної ОБРОБКИ зразків (б)
Метали конденсувалісь на сіталову підкладку. Контакти у виде плівкі Cu/П (П-Підкладка) формуван через спеціальну маску и вітрімувалісь после конденсації у вакуумі 1 годину з метою стабілізації структурно-фазових процесів.
При отріманні двошарова плівок осадженим здійснювалось пошарово на сіталову підкладку через маску з геометричність розмірамі (1х10) мм 2. З метою стабілізації свіжосконденсовані плівкі вітрімуваліся у вакуумі течение 0,5-1,0 Годін. Ag/Co плівкові системи отримувалася методом термічного випаровуваності в одному ціклі почергово КОЖЕН кулю.
Отрімані зразки різної товщини піддавалісь термічному відпаленню для Отримання гранульований сталева. Відпалювання здійснювалося у вакуумі на спеціальній печі (рис. 1.5, б) в інтервалі температур Tв=300-900 К. До бланках під єднувалася хромель-алюмілева термопара, с помощью якої можна Було контролюваті температуру нагріву та охолодження.
Методика контролю товщини отриманий зразків
Для контролю товщини плівок безпосередно в процессе напилення застосовувався метод кварцовий резонатора. Як датчики товщини вікорістовувалісь кварцові пластини РГ - 08, Які вмікалась в схему генератора. Частота вихідного сигналу вімірювалась приладнав ЧЗ - 54.
Товщінa сконденсовaної плiвкі візнaчaлaсь зa спiввiдношенням:
, (1.10)
де D q та D f - густінa квaрцу i Речовини, якa конденсується, вiдповiдно; fq - резонaнснa чaстотa квaрцу до почaтку конденсaцiї; f - резонaнснa чaстотa квaрцу пiсля конденсaцiї метaлу, N a=dq · fq=const=1,668 · 10 3 Гц · м.
Д...
