Федеральне державне освітня установа вищої професійної освіти.
«НАЦІОНАЛЬНО-ДОСЛІДНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІНФОРМАЦІЙНИХ ТЕХНОЛОГІЙ, механіки й оптики»
Факультет: «Комп'ютерні технології та управління»
Спеціальність: «Конструювання та технологія електронних засобів. Проектування електронних засобів в захищеній інтегрованому середовищі »
Реферат
З дисципліни: Мікро-та нано технології
На тему: Ступінь окислення. Вплив методів отримання плівок SiO 2 на їх властивості.
Виконали: Рахмонова Манзура, Ёрова Ситора
Прийняв: Холецького Р. А
Санкт-Петербург 2 014
Зміст
Введення
Поняття і опис ступінь окислення
Отримання плівок SiO 2 методом термічного окислення
Аналіз впливу технологічних параметрів на процес окислення кремнію
Фактори, що впливають на швидкість отримання та якість плівок SiO 2
Властивості плівок SiO 2
Висновок
Список літератури
Введення
Загальним для діелектричних плівок різного призначення є вимога технологічності, під якою розуміють, насамперед, сумісність процесів отримання покриття з виготовленням структура ІМС в цілому. Технологічними слід вважати також процеси, здійснювані прі не високих температурах нагріву пластини і забезпечують прийнятну для виробництва швидкість росту плівки. Забруднення плівки, що погіршують електричні властивості, повинні бути відсутніми. Тому хімічне і електрохімічне вирощування плівок у розчинах і електролітах при виробництві напівпровідникових ІМС знаходить обмежене застосування.
Експлуатаційним вимогам досить повно відповідає окис кремнію, одержувана при нагріванні його поверхні в присутності кисню (термічне окислення). Термічно вирощений окисел SiO 2 володіє найкращими маскирующими властивостями і високими електричними параметрами. Схильність окису кремнію до Стеклообразование сприяє до отримання безпористого плівки. Добре розчиняючись у плавикової кислоті, SiO 2 в той же час практично стабільна по відношенню до сумішей HF + HNO 3 та іншим реагентів, що дозволяє ефективно використовувати її в якості маски при селективному травленні кремнію.
Процес окислення виконують в епітаксійних установках або в одне зонних дифузійних печах зі спеціальними газорозподільними пристроями. Він добре узгоджується з типовими операціями фізико-термічної обробки. На практиці розгонку домішки при дифузії суміщають з окисленням поверхні доріжок. Окислення поверхні після епітаксії також виконується на одній установці в єдиному циклі. При окисленні утворюються хімічні зв'язки між атомами кисню, внаслідок чого щільність поверхневих станів зменшується на кілька порядків у порівнянні з атомарно чистою поверхнею. Досить товстий перехідний шар, існуючий на кордоні SiO 2 і Si, обумовлює слабка зміна ТКР, що знижує внутрішньо натяг і зменшує жолоблення пластин після їх охолодження.
Поняття і опис ступінь окислення
Ступінь окислення - допоміжна умовна величина для запису процесів окислення lt; https: //ru.wikipedia/wiki/%D0%9E%D0%BA%D0%B8%D1%81%D0%BB%D0% B5% D0% BD% D0% B8% D0% B5 gt ;, відновлення lt;http://ru.wikipedia/wiki/%D0%92%D0%BE%D1%81%D1%81%D1%82%D0%B0%D0%BD%D0%BE%D0%B2%D0%BB%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D0%B5gt; і окисне - відновлювальні реакцій lt;http://ru.wikipedia/wiki/%D0%9E%D0%BA%D0%B8%D1%81%D0%BB%D0%B8%D1%82%D0%B5%D0%BB%D1%8C%D0%BD%D0%BE-%D0%B2%D0%BE%D1%81%D1%81%D1%82%D0%B0%D0%BD%D0%BE%D0%B2%D0%B8%D1%82%D0%B5%D0%BB%D1%8C%D0%BD%D1%8B%D0%B5_%D1%80%D0%B5%D0%B0%D0%BA%D1%86%D0%B8%D0%B8gt;. Вона вказує на стан окислення окремого атома lt; https: //ru.wikipedia/wiki/%D0%90%D1%82%D0%BE%D0%BCgt; молекули lt; https: //ru.wikipedia/wiki/%D0%9C%D0%BE%D0%BB%D0%B5%D0%BA%D1%83%D0%BB%D0%B0gt; і являє собою лише зручний метод обліку переносу електронів lt;http://ru.wikipedia/wiki/%D0%9F%D0%B5%D1%80%D0%B5%D0%BD%D0%BE%D1%81_%D1%8D%D0%BB%D0%B5%D0%BA%D1%82%D1%80%D0%BE%D0%BD%D0%B0gt;: вона не є істинним зарядом lt;http://ru.wikipedia/wiki/%D0%AD%D0%BB%D0%B5%D0%BA%D1%82%D1%80%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%B8%D0%B9_%D0%B7%D0%B0%D1%80%D1%8F%D0%B4gt; атома в молекулі.
Уявлення про ступінь окислення елементів покладені в основу і використовуються при класифікації хімічних речовин lt;http://ru.wikipedia/wiki/%D0%A5%D0%B8%D0%BC%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%B0%D1%8F_%D0%BD%D0%BE%D0%BC%D0%B5%D0%BD%D0%BA%D0%BB%D0%...
