підкладці виникає велика кількість зародки, причому поява їх є раптовим і практично одночасною, а подальша поверхнева щільність частинок змінюється несуттєво. Зі збільшенням розміру часток при утворенні контактів між ними виникає взаємодія між зародками, що призводять до їх злиття. Подальше збільшення кількості сконденсованого матеріалу приводить до утворення єдиної сітки з зростаються частинок. Між частинками зберігаються канали рівної ширини. Заростання цих каналів призводить до утворення суцільної плівки.
Малюнок 1.2 - Схема заростання підкладки напівсферичними зародками
Освіта суцільної плівки визначається механізмом зародження центрів (зародків) і подальшим зростанням. Співвідношення між часткою обсягу речовини перетворився з газоподібним чи рідкої фази в тверду і часом перетворення t визначає кінетику процесу зародження і росту плівки. Плівка вважається суцільний, якщо коефіцієнт заповнення n дорівнює 0.99, якщо коефіцієнт заповнення менше 0,99 і величина зазору між острівцями позитивна, то плівка вважається острівцевих. Зародки, що утворилися в випадкових точках підкладки, до моменту зрощення в суцільну плівку досягають некотор?? ї висоти, відповідної середній товщині суцільної плівки (малюнок 1.2) [1].
2. Властивості молібдену
Молібден відноситься до тугоплавким металам, ковкий і пластичний метал, є перехідним елементом. Механічні властивості, як і у більшості металів, визначаються чистотою металу і попередньої механічної і термічної обробкою (чим чистіше метал, тим він м'якше). Наявність домішок збільшує твердість і крихкість металу. Володіє вкрай низьким коефіцієнтом теплового розширення.
Зовнішній вигляд металевого молібдену залежить від способу його одержання. Компактірованний (спечений) молібден без обробки (у вигляді зливків, штабика і заготовок під прокатку молібдену) - досить темний метал, допускаються сліди окислення. Молібден у вигляді прокату буває різних кольорів: від темного, майже чорного, до сріблястого (дзеркального). Все залежить від обробки металу. Молібденовий прокат обробляють шляхом: точіння, шліфування, хімічного очищення (травлення) і електрополірування. Молібденовий порошок має темно-сірий колір.
Молібден використовується для легування сталей, як компонент жароміцних і корозійностійких сплавів.
Молібден - один з небагатьох легуючих елементів, здатних одночасно підвищити міцнісні, в'язкі властивості сталі і корозійну стійкість. Зазвичай при легуванні одночасно зі збільшенням міцності зростає і крихкість металу.
Питомий опір і температурний коефіцієнт масивного зразка. Вони рівні:
2.1 Розрахунок коефіцієнта розпилення
Ефективність катодного розпилення характеризується коефіцієнтом катодного розпилення S, що дорівнює числу атомів, розпорошених під впливом одного іона, і визначається формулою
(2.1)
де - число розпилених атомів;
- число падаючих іонів.
Рухомий на катод (мішень) іон газу масою М1 передає свою енергію Е атомам решітки в серії послідовних зіткнень. Якщо при зіткненні атому мішені масою М2 передається енергія, що перевершує енергію зв'язку атомів в решітці (енергію зсуву) Есм, він покидає своє рівноважне положення, перетворюючись на первинно зміщений атом. Усунутий атом, у свою чергу, стикається з оточуючими атомами решітки, виробляючи вторинні зміщення, і так далі. Цей процес триває до тих пір, поки енергія атома не зменшиться до рівня, нижче якого передача енергії, більшої Есм, стає неможливою. Потім атоми продовжують стикатися, але вже не зміщують атоми і сповільнюються до енергії сублімації Есуб і потім приймають участь у тепловому русі атомів решітки.
Максимальна енергія, яку може іон передати атому при лобовому зіткненні, дорівнює
, (2.2)
де - маса іона і атома мішені; енергія іона ().
Усунутий атом характеризується середньою енергією, величина якої залежить від виду взаємодії. Якщо усунутий атом отримає енергію більше Есм і імпульс енергії буде спрямований у бік поверхні, то він може покинути цю поверхню і стати розпорошеним атомом. Енергію зміщення можна оцінити, знаючи енергію сублімації для матеріалу мішені Есуб. При сублімації відбувається видалення атомів з поверхні, де діє тільки половина зв'язків. Для видалення атома з обсягу мішені вже необхідна енергія 2Есуб. При зіткненнях атом не тільки вибивається із займаного положення, але і впроваджується в решітку, зміщуючи інші атоми. Для видалення таких атомів необхідна енергія не менше 4Есуб. Отже, процес вибиванн...
