тного розряду фізична суть відбуваються в розрядної камері ВЧИ-плазмотрона явищ полягає в наступному. "Запалювання" безелектродного розряду завжди відбувається за рахунок електричного поля індуктора, напруженість якого може бути в 30 і більше разів вище напруженості індукційної ЕРС. Це створює первісну іонізацію газу, яка в міру збільшення амплітуди високочастотних коливань зростає, підвищуючи провідність розряду. p align="justify"> Відомо, що тіла з малою провідністю "прозорі" для магнітного поля індуктора. До тих пір поки провідність газу мала розряд "прозорий" для Н-поля, і змінне магнітне поле індуктора не в змозі передавати свою енергію розряду. Однак як тільки провідність під впливом збільшення Е-поля досягає деякої критичної величини, "магнітна енергія" індуктора починає виділятися, в розряді з'являється кільцевої струм і настає Н-форма безелектродного розряду. При цьому напруга на індукторі різко падає і Е-розряд гасне. Можливі дві форми появи індукційного розряду: Лавиноподібний форма і поступовий перехід Е-розряду в Н-розряд. [2]
Основні типи розрядних камер ВЧИ-плазмотронів:
кварцова неохолоджуваного;
кварцова водоохлаждаемая;
металева розрізна водоохлаждаемая.
Основні способи газової стабілізації плазмового згустку в розрядної камері ВЧИ-плазмотрона:
вихровим потоком;
аксіальним пристінковим потоком.
Основні способи "запалювання" ВЧИ-плазмотрона:
при атмосферному тиску ємнісним струмом;
при атмосферному тиску за допомогою введеного в плазмотрон штиря;
на зниженому тиску 10 -2 торр;
при атмосферному тиску електричною дугою. [1]
.2 Конструкції ВЧИ-плазмотронів
.2.1 Конструкції розрядних камер ВЧИ-плазмотронів з водяним охолодженням
Першим найпростішим методом, що дозволяє охолодити кварцову розрядну трубу, в якій існує ВЧИ-плазма, є зовнішнє водяне охолодження.
З безлічі варіантів конструкцій кварцових водоохолоджуючих розрядних камер можна виділити основні: клеєну, сорно-розбірну і зварену.
У клеєної конструкції внутрішня розрядна камера 3 і зовнішній чохол, як правило теж кварцовий, з водоповодящімі штуцерами скріплюються за допомогою ущільнень і різних клейових паст. p align="justify"> Вельми окремим випадком для водоохолоджуючих камер є розтріскування кварцовою труби в результаті термоудара плазми. Цей великий недолік вооохлаждаемих камер привів, по-перше, до того, що камери такого типу застосовуються не дуже широко (головним чином для фізичних досліджень ВЧИ-плазми), а по-друге, до необхідності частих замін внутріш...