>
 Установка осадження діелектричних шарів 
 Ізоплаз-150 
  Дем 
  2030054 
 0,7 
 2 
 1,4 
 Установка осадження 
 Оксид 3ПО 
 0,42 
 4 
 1,68 
 Лічильник аерозольних частинок 
 ПК. 
  ГТА-0 ,3-002 
 0,7 
 7 
 4,9 
 Установка зондовая 
 ЕМ-6010 
 1,26 
 6 
 7,56 
 Установка зондовая 
 Зонд-А5 
 0,7 
 10 
 7 
 Установка контактного друку 
 ЕМ-576а 
 0,49 
 4 
 1,96 
 Установка лазерного маркування пластин 
 Н/р 
 1,05 
				
				
				
				
			
 2 
 2,1 
 Установка розділення пластин 
 ЕМ-2085 
 1,05 
 3 
 3,15 
 Установка ультразвукового зварювання 
 ЕМ-4480 
 1,05 
 2 
 2,1 
 Установка посадки 
 ЕМ-4485 
 1,26 
 3 
 3,78 
 Установка розварювання 
 ЕМ-4260Т 
 3,01 
 4 
 12,04 
 Установка виміру динамічних параметрів 
 Н/р 
 1, 19 
 5 
 5,95 
 Випрямляч 
 ТЕР-400/12 ОУХЛ4 
 1,085 
 5 
 5,425 
 Установка ударна 
  або 12МКЕО-02/490000-003 
 12МК 0,2/100000-002 
 1,12