ється дейтерій. Напуск проводиться за допомогою пьезонатекателя до робочого тиску (7-8) ' 10 -6 торр.
Потім у камері запалюється СВЧ ЕЦР розряд. Експозиція проводилася з двома різними енергіями потоку іонів: низька енергія (прискорює напруга - 60 еВ) і висока енергія (1 кеВ). Вимірювання напруги та струму на зразок проводиться за допомогою вольтметра і міліамперметра. Після експозиції зразок витягується з вакуумної камери і зважується. Вимірювання маси виробляються на рівноплечого вагах ВЛР-2 з точністю до 20 мкг. З декількох вимірювань обчислюється середнє значення ? M.
Експерименти проводилися з різними типами дзеркал: а) дзеркало на Si підкладці з ZrO 2 плівкою, б) дзеркало на Si підкладці з AgZr плівкою.
Дані експерименту для дзеркал SiAgZr
В експерименті використовувалися три ідентичних дзеркала на які подавалися різні напруги. Величина струму на зразок склала j = 2.65 мА/см 2 , робочий тиск P D = 7.5x10 -5 Торр. Проводилася серія експозицій з різними часами. На рис. 5, 6, 7 представлені коефіцієнти відображення на різних довжинах хвиль після кожної експозиції для трьох дзеркал.
В
Рис. 5. - Коефіцієнти відбиття для дзеркала SiAgZr # 1
В
Рис. 6. - Коефіцієнти відбиття для дзеркала SiAgZr # 2
В
Рис. 7. - Коефіцієнти відбиття для дзеркала SiAgZr # 3
Дані експерименту для дзеркал SiZrО 2
дзеркало відображальний дейтерієву хвиля експозиція
В експерименті використовувалися два ідентичних дзеркала на які подавалися різні напруги. Величина струму на зразок склала j = 1,482 мА/см 2 , робочий тиск P D = 7.5x10 -5 Торр. Проводилася серія експозицій з різними часами. На рис. 8, 9 представлені коефіцієнти відображення на різних довжинах хвиль після кожної експозиції для двох дзеркал.
В
Рис. 8. - Коефіцієнти відбиття для дзеркала SiZrО 2 # 1
Перед експозицією зразок був зважений m 0 = 0.132940 г В± 20 мкг. Після серії експозицій вага зразка змінився? M...
