= 40 мкг, що відповідає розпилення шару завтовшки 57,5 ​​нм.
В
Рис. 9. - Коефіцієнти відбиття для дзеркала SiZrО 2 # 2
Перед експозицією зразок був зважений m 0 = 0,133670 г В± 20 мкг. Після серії експозицій вага зразка змінився? M = 10 мкг В± 20 мкг, що відповідає розпилення шару завтовшки 43 нм.
Висновок
Дзеркала з матеріалів з високою відбивною здатністю, вкриті оксидними плівками, можуть надалі використовуватися в системі оптичної діагностики в області діверторной плазми. З експериментальних результатів видно, що при бомбардуванні дзеркал з плівковим покриттям іонами малої енергії, яка буде використовуватися для чищення камери, товщина плівки істотно не змінюється. br/>
