В? сПодвіжность дірок мр, м2/В? сGe53269370, 660,390 , 19Si232814171, 1070,1350,048 GaAs531712381, 4280,80,04
Таким чином, кремній не володіє ідеальними параметрами для магнітоелектроніки, але є найбільш вживаним матеріалом. p align="justify"> В якості матеріалу для підкладки будемо використовувати ситалл. Він добре обробляється, витримує різкі перепади температури, володіє високим електричним опором, газонепроникний, механічно міцний. Підкладка буде підставою для розташування плівкових і навісних елементів. p align="justify"> В якості резистивних матеріалів будемо використовувати металлосіліцідние сплави системи Cr-Si, легованих невеликими добавками нікелю. Вони мають порівняно невеликим ТКС, мають високу стабільність відтворення питомих поверхневих опорів, а діапазон номіналів досить широкий. Для створення гібридної мікросхеми необхідні резистивні плівки з питомим поверхневим опором від десятків до десятків тисяч Ом на квадрат. Чим менше товщина плівок, тим вище питомий поверхневий опір, але одночасно підвищується ТКС, погіршується тимчасова і температурна стабільність плівок. Вибираємо сплав РС-3710 (37,9% Cr, 9,4% Ni, 52,7% Si). p align="justify"> Провідники і контактні площадки в гібридних мікросхемах, як правило, виконують багатошаровими (основний шар з адгезійним шаром). Вони повинні мати малий питомий опір, гарну адгезію до підкладки, високу корозійну стійкість. Вибираємо шар золота з подслоем хрому. Підшар хрому забезпечує високу адгезію, а золото - потрібну провідність, високу корозійну стійкість, можливість паяння та зварювання. p align="justify"> Корпус датчика виготовляється з полістиролу ударостійкого ГОСТ 20282-86, що дозволяє забезпечити захист елементів магнітної системи від чужорідних частинок і впливу навколишнього середовища. Крім того, даний матеріал не спотворює магнітне поле постійного магніту, що забезпечує стабільність і точність показань датчика. br/>
3. КОНСТРУКТОРСЬКІ РОЗРАХУНКИ
Розрахунок параметрів магнітної системи
При проведенні розрахунку магніту з арматурою використовується метод відносин, що дає прийнятну точність. Розрахунок проводиться у програмі Mathcad. br/>
Вибираючи параметри магніту і концентраторів, розраховуються значення провідностей у напрямках 1-13, загальне значення провідності арматури, значення магнітної індукції в зазорі. Отримані значення провідностей аналізуються, і вибирається оптимальний варіант. br/>
Таблиця 3 - Варіанти геометрії магнітної системи.
Номер варіантаАLCLkAkBkZб133453123024446322, 5303756971,5330
Таблиця 4 - Значення провідностей та магнітної індукції в зазорі для різних варіантів геометрії магнітної системи.
