ної компонентної бази і радіоелектроніки на 2008-2015 роки» (ФЦП «ЕКБ і РЕ»), комплексних цільових програм Міністерства оборони РФ, програми «Мікросістемотехніка» (МСТ) Союзної держави Російської Федерації та Республіки Білорусь. Слід зазначити, що в рамках виконання ФЦП «ЕКБ і РЕ» в період 2008 - перша половина 2010 років підприємствами радіоелектронної галузі країни досягнуті значні успіхи у створенні наступних базових технологій (БТ) і конструкцій виробів МСТ і приладів на їх основі:
? мікроелектромеханічних датчиків прискорення і тиску, що дозволяють реалізувати широкий спектр приладів, у тому числі для блоків орієнтації малих космічних апаратів, УЗ-лічильників газу;
? мікросистем аналізу магнітних полів, що дозволяють реалізувати прилади для наукових досліджень, машинобудування та медицини;
? формування надпровідникових структур тунельного типу для побудови сучасних квантових еталонів напруги, приймально-перетворювальних систем субміліметрового діапазону довжин хвиль і елементної бази квантових комп'ютерів на основі Q-бітової логіки;
? матриць мікродзеркал для модуляції оптичного випромінювання;
? мікроелектромеханічних перемикачів і комутаторів для комплексної мініатюризації спеціальної апаратури;
? напівпровідникових газових сенсорів на основі композитних і мембранних структур, що забезпечують створення газових течошукачів і порогових газоаналізаторів, вживаних в промисловості та ЖКГ (вже освоєні у виробництві);
? твердотільних гіроскопів вібраційного типу на основі п'єзоефекту, що дозволяють реалізувати пристрої управління рухомими об'єктами в екстремальних умовах;
? мікроакустоелектромеханіческіх датчиків тиску рідких і газоподібних середовищ широкого спектру застосувань;
? параметричного ряду консолей для прецизійних вимірювань сучасних атомно-силових мікроскопів.
Актуальне завдання сучасного етапу - розгортання робіт зі створення широкої номенклатури виробів МСТ, приладів і систем на їх основі стосовно вимогам конкретних груп споживачів і організація серійного виробництва продукції для задоволення платоспроможного попиту. З метою вирішення цього завдання, крім базових технологій, підприємствам необхідні ефективні системи автоматизованого проектування (САПР), адаптовані до специфіки конструкцій виробів МСТ і технології їх виробництва. Крім того, потрібні комплекти спеціального технологічного та метрологічного оснащення та методики контролю параметрів виробів МСТ в умовах серійного виробництва. Коло додаткових проблем, які очікують рішення для широкого впровадження результатів науково-технічних розробок базових технологій і базових конструкцій виробів МСТ в повсякденну практику, входить до науково-технічну програму «Мікросістемотехніка». Ця програма - логічне продовження ряду Федеральних цільових програм Російської Федерації, а також результат аналізу досягнень і недоліків, виявлених у процесі виконання конкретних розробок виробів МСТ, приладів і систем на їх основі десятками підприємств Росії та Білорусії. Програма передбачає комплексний підхід до вирішення наступних поставлених завдань:
? розробка базових чутливих елементів, приладів і систем на основі виробів МСТ;
? створення ключового технологічного та метрологічного оснащення;
? формування бази даних та спеціалізованих підпрограм САПР для автоматизованого проектування конструкцій і технологій пристроїв на основі виробів МСТ.
Програма орієнтована на облік реальних потреб ринку кінцевої продукції.
Вона передбачає забезпечення глибокого технологічного переоснащення виробництва продукції цивільного призначення, формування технічних і економічних умов для впровадження інноваційних рішень у виробництво спеціальної техніки та використання потенціалу приватно-державного партнерства, створення в якості пілотного проекту інтегрованої виробничої структури - Центру МСТ. Головні виконавці програми - ВАТ «Авангард» (Санкт-Петербург) і ДНВО точного машинобудування «Планар» (Мінськ). Співвиконавцями програми виступають провідні підприємства радіоелектроніки РФ і Білорусії (ФДУП НДІ ПС, НИТКИ Електроприлад, ВАТ «НДІ Елпа», ВАТ «НДІФ», ВАТ «РНДІ Електронстандарт», ФГУП «НІІФП ім. Ф.В. Лукіна,« Протон-МІЕТ » , ФГУП «НКТБ« Кристал », ТЦ МІЕТ та ін.).
Звертає на себе увагу те, що вперше за останні роки передбачається централізована розробка спеціального технологічного та метрологічного оснащення. Це - обладнання для прецизійної механічної обробки і різання підкладок для виробів МСТ; спеціалізоване обладнання для проекційного експонування при виготовленні акустоелектронних виробів; автоматизовані системи двох- і тривимірної оптично...
