ювання та обробки.
. 2.2. Режим налаштування.
. 3. Критерії припинення випробувань.
. 3.1. Припинення випробування у зв'язку з отриманням необхідних параметрів і характеристик.
. 3.2. Аварійна ситуація.
. Засоби випробувань.
. 1. Засоби випробувань - вимоги.
. 1.1. Установка еліпсометрія для вимірювання оптичним способом повинна складатися з: гріє і пробного лазерів, електрооптичного модулятора, фокусирующий асферичного об'єктива, вакуумної камери, предметного координатного столу еліпсометрія, пробного He-Ne лазера, фокусуючих об'єктивів пробного випромінювання, фотоприймача з попереднім підсилювачем, інтерфейсу і міні-ЕОМ, аналізатора, поляризатора, компенсатора, зразка.
. 2. Порядок проведення випробувань.
. 2.1. Див. 2.3.
. 2.2. Налаштування установки: Модулюючи і фокусуємо теплової лазер, фокусуємо пусковий/пробний лазер на зразок. Фокусуємо відбитий промінь лазера для фотоприймача. Якщо є необхідність - переміщаємо зразок.
. 3. Обробка даних та оформлення результатів випробувань.
. 3.1. Обробка здійснюється на ЕОМ, осцилографах.
. 3.2. Заносимо дані в таблицю.
. 3.3. Виробляються розрахунки за формулою, визначається похибка вимірювання.
. 4. Вимоги безпеки та охорони навколишнього середовища.
. 4.1. Зразок знаходиться у вакуумі.
. 4.2. Див. 4.1.
. 4.3. Дотримання техніки безпеки, пов'язаної з електроприладами, лазерною технікою, нагрівальними елементами.
. 4.4. При замиканні відключити прилад від мережі.
. 4.5. При загорянні викликати пожежний розрахунок, скористатися встановленими засобами пожежогасіння.
ВИСНОВОК
У процесі виконання курсової роботи був проведений патентний пошук в патентних базах. Знайдені прототипи і аналоги.
Коротко описано зміст дисертаційної роботи.
Також докладно розписані розділи методики випробувань.
СПИСОК ЛІТЕРАТУРИ
1. Spectroscopic ellipsometry under external exitational./G. Jin, H. El Rhaleb, JP Roger, A.C. Boccara, J.L. Stehle//Thin Solid Films, 2010, V.234, p.375-379.
2. Загребин Л. Д., Івлієв А. Д., Шабанов І. Н. та ін. Кінетичні властивості твердих розчинів системи Fe-Ge при високих температурах .// ФММ.- 2009.-Т.94, №4.- С. 31. - 36.
. Уймін А.А. та ін. Вимірювання температуропроводности плівок методом лазерного зчитування. ВТНП-плівки в інтервалі температур 90-300 К./Уймін А.А., Зінов'єв В.Є., Коршунов І.Г., Каршишев А.В.// Листи в журнал технічної фізики.- 2011.-Т.17.-вип.20.
4. lt; http: //uspto.gov/gt ;. Американська патентна база.
