ється іонної гарматою, за допомогою якої видаляються верхні шари об'єкта.
ПРЕМ володіють такою ж високою роздільною здатністю, як і ПЕМ. У цих приладах використовуються автоемісійним гармати, що працюють в умовах надвисокого вакууму, що забезпечують достатній струм в зонді малого діаметра (0,2-0,3 нм). Діаметр зонда зменшують дві магнітні лінзи. Нижче об'єкта розташовані детектори - центральний і кільцевої. На перший потрапляють нерозсіяних електрони, і після перетворення і посилення відповідних сигналів на екрані ЕПТ з'являється светлопольное зображення. На кільцевому детекторі збираються розсіяні електрони, що створюють темнопольних зображення. У ПРЕМ можна досліджувати об'єкти більшої товщини об'єкти, ніж в ПЕМ, т. К. Зростання числа непружно розсіяних електронів з товщиною не впливає на дозвіл. За допомогою аналізатора енергії електрони, прошедшие крізь об'єкт, розділяються на пружно і непружно розсіяні пучки. Кожен пучок потрапляє на свій детектор, і на ЕЛТ спостерігаються відповідні зображення, що містять додаткову інформацію про елементний складі об'єкта. Висока роздільна здатність в ПРЕМ досягається при повільних розгортках, т. К. В зонді діаметром всього 0,2-0,3 нм ток виходить малим. ПРЕМ оснащуються всіма, використовуваними в електронній мікроскопії, пристроями для аналітичного досліджень об'єктів, Прилади комплектуються ЕОМ для комплексної обробки надходить.
Вони створюють зображення об'єкта електронами, які емітує сам об'єкт при нагріванні, під дією електромагнітного випромінювання і при накладанні сильного електричного поля, виривають електрони з об'єкта. Ці прилади зазвичай мають вузьке цільове призначення.
Вони служать для візуалізації електростатичних потенційних рельєфів і магнітних мікрополів на поверхні об'єкту. Основним електронно-оптичним елементом приладу є електронне дзеркало, причому одним з електродів служить сам об'єкт, який знаходиться під невеликим негативним потенціалом щодо катода гармати. Електронний пучок прямує в електронне дзеркало і відбивається полем в безпосередній близькості від поверхні об'єкту. Дзеркало формує на екрані зображення у відбитих пучках raquo ;: мікрополя близько поверхні об'єкта перерозподіляють електрони відбитих пучків, створюючи контраст в зображенні, що візуалізує ці мікрополя.
. 8 Фізичні основи растрової електронної мікроскопії
Принцип дії заснований на використанні деяких ефектів, що виникають при опроміненні поверхні об'єкта електронним зондом. У результаті взаємодії електронів зі зразком генеруються різні сигнали. Основними з них є потік електронів: відображених, вторинних, Оже-електронів, поглинених, що пройшли через зразок, а також випромінювань: катодолюмінесцентному і рентгенівського.
Для отримання зображення поверхні зразка використовуються вторинні, відображені і поглинені електрони. Решта випромінювання застосовуються в РЕМ як додаткові джерела інформації.
Найважливішою характеристикою будь-якого мікроскопа є його роздільна здатність. Вона визначається:
) площею перетину або діаметром зонда;
) контрастом, створюваним зразком і детекторной системою;
) областю генерації сигналу у зразку.
Діаметр зонда в основному залежить від конструктивних особливостей і якості вузлів мікроскопа і насамперед електронної оптики. У сучасних РЕМ досягнуто високу досконалість компонентів конструкції, що дозволило зменшити діаметр зонда до 5-10 нм.
Вплив контрасту на роздільну здатність проявляється в наступному. Формування контрасту в РЕМ визначається різницею детектіруемих сигналів від сусідніх ділянок зразка, чим вона більше, тим вище контраст зображення. Контраст залежить від декількох факторів: топографії поверхні, хімічного складу об'єкта, поверхневих локальних магнітних і електричних полів, кристалографічної орієнтації елементів структури. Найважливішими з них є топографічний, залежний від нерівностей поверхні зразка, а також композиційний, залежний від хімічного складу. Рівень контрасту визначається також і ефективністю перетворення падаючого на детектор випромінювання, що створює сигнал на його виході. Якщо отримується в результаті контраст недостатній, то його можна підвищити, збільшивши струм зонда. Проте великий потік електронів в силу особливостей електронної оптики не може бути добре сфокусований, т. Е. Діаметр зонда зросте і відповідно знизиться роздільна здатність. Інший фактор, що обмежує дозвіл, залежить від розмірів області генерації сигналу у зразку.
При проникненні первинних електронів в зразок вони розсіюються у всіх напрямках, тому всередині зразка відбувається розширення пучка електронів. Ділянка зразка, в якому первинні електрони гальмуються до енергії E=0,...
