метичність. Натікання може відбуватися і за дефектами в структурі суцільного матеріалу. Тому можливе натікання у вакуумну установку можна оцінити за формулою: В
де Q мп - мінімальний потік, реєстрований шукачем; До в - ймовірність існування течі, меншої чутливості течеискателя; N - число з'єднань; m - число одночасно перевіряються сполук. Для нашого випадку беремо До в = 0,2, m = N, Q мп = 10 -11 м 3 ? Па/с. Тоді Q н = 2? 10 -12 м 3 < span align = "justify">? Па/с.
Резервом зменшення Q н при розрахунку за формулою є зменшення числа випробувань на герметичність. Граничним випадком є ​​одне випробування, коли m = N, і перевіряється негерметичність всієї установки. При роботі з гелієвим шукачем така перевірка проводиться розміщенням всієї установки в атмосфері гелію за допомогою поліетиленових ковпаків або інших допоміжних засобів, що залежать від розмірів установки.
Технологічне газовиділення залежить від типу оброблюваного об'єкта і способу здійснення технологічного процесу.
В
де G - маса оброблюваних виробів, ? = 2 - коефіцієнт, що враховує нерівномірність процесу газовиділення, t = 24 години.
Q т = 6,947? 10 -9 м 3 ? Па/с. Тоді отримуємо Q ? 5,304? 10 -5 < span align = "justify"> м 3 ? Па/с.
