n align="justify"> ,
F i = 170 м 2 (виходячи з обсягу камери). Тоді отримуємо Q прон = 5,3? 10 -5 м 3 ? Па /с.
Газопроникність зростає при зменшенні товщини стінок вакуумних камер. Особливо це помітно для деталей типу cільфонов, мембран і т.д., де мала товщина деталі визначається умовами її роботи. Конструктивними способами зменшення газопроникності крім вибору матеріалів є використання установок з В«подвійнимВ» вакуумом та охолодження деталей під час роботи безпосередньо у вакуумній камері.
Дифузійне газовиділення має нестаціонарну природу, але для більшості газів і матеріалів постійна часу цих процесів настільки велика, що вони можуть розглядатися як стаціонарні. Спрощений метод визначення дифузійного газовиділення заснований на застосуванні експериментально визначених значень коефіцієнтів питомої дифузійного газовиділення, що залежать від роду газу, матеріалу і його попередньої обробки, а також робочої температури. Газовий дифузійний потік:
В
де F i - площа i -гo матеріалу, присутнього у вакуумній системі; N - число матеріалів, q i - питомий дифузійне газовиділення i -го матеріалу. Для нашого випадку F j = 15м 2 , по таблиці вибираємо q i для нержавіючої сталі дорівнює 10 -9 м 3 ? Па/(м 2 ? с). Тоді отримуємо Q д = 3,2? 10 -8 м 3 ? Па/с.
натекания через оболонку вакуумної камери відбувається в основному по розбірним і нерозбірним сполукам, які принципово не можуть забезпечити абсолютну гер...
