ify"> Питомий електричний опір 10 -6 Ом мМедь108363, 58,941273390430,0172 Нікель145558, 78,9151095650,073
Технологічні розрахунки
Розрахунок технологічної точності плівкових елементів мікросхем.
В основу розрахунку точності покладені функціональні зв'язки вихідних параметрів пасивних тонкоплівкових елементів з електрофізичнимипараметрами плівок і геометричними розмірами.
R = R-
Розрахунок резисторів
№ R, ОмR-,
ОмL, ммB, ммСреднестатістіческіе параметриR - , ОМ3 s R, ОмLср, мм3 s Lср , ммB ср , мм3 s bср , ММR 1 16900 510000 В± 50050910000510500,00890,014 R 2 1690 5500 В± 254,90,75002660,008110,01
Для R1:
(R-) ту = 500 Ом
(L) ту = 0,005 мм
(В) ту = 0,005 мм
Для R2:
(R-) ту = 25 Ом
(L) ту = 0,005 мм
(В) ту = 0,005 мм
1) Визначимо коефіцієнт розсіювання:
, i = R-, L, B
Для R1: - = 510/500 = 1,02 = 0,008/0,005 = 1,6 = 0,014/0,005 = 2,8
Для R2: - = 26/25 = 1,04 = 0,008/0,005 = 1,6 = 0,01/0,005 = 2
2) Визначимо випадкові відносні похибки вихідного параметра:
R-= 5%
Для R1:
L = 0,005? 100/50 = 0,01
B = 0,005? 100/9 = 0,055
В
Для R2:
L = 0,005? 100/6 = 0,083
B = 0,005? 100/11 = 0,045
В
3) Розрахунок технологічних режимів виготовлення тонкоплівкових резисторів методом термовакуумного випаровування.
Вихідні дані:
R1 = 500 Ом? МR2 = 900 Ом? м
ТКС1 = -1,3? 10-4ТКС2 = -1,5? 10-4
Так як випаровуваний матеріал - резистивний сплав РС-3710 ми використовували такі формули для розрахунку:
R-= 594,21-26,46? Ті +61,29? Тп-217, 96? d +13,21? Ті? d-24, 86? Тп? d, Ом
ТКС = (-2,06 +0,405? Ті-0, 544? Тп-1, 303? d) 10-4, град-1
Для R1:
За базовий рівень варійованих факторів прийняті наступні значення:
Тіо = 1500 В° C ТПО = 200 В° C d0 = 300 Г…
Інтервали варіювання:
? Ти = 100 В° C? Тп = 150 В° C? d = 100 Г…
Закодовані з...
