, тиск залишкового газу, молекулярна маса испаряемого речовини і його природа. Мають значення також і геометричні параметри конструктивних елементів РВ. p align="justify"> Реально методом термічного вакуумного випаровування (ТВІ) напилюють плівки товщиною не більше 1,5-2 мкм.
Хорошу адгезію до діелектричним подложкам виявляють легкоокислюваних метали, такі, як Al, Cr, Mn, Ti. Погану адгезію мають такі високоелектропроводние метали, як Cu, Au, Pt, Pd. p align="justify"> При організації серійного виробництва виробів завжди стоїть завдання скорочення частки допоміжного часу, що припадає на один виріб. При обробці ІМС у вакуумі допоміжний час включає установку і зняття підкладок (10-15 хв.), Відкачку системи до робочого вакууму (1,5-2 ч.прі розігрітому дифузійному насосі). Основний час - напилювання одного шару 1 - 1,5 хв. p align="justify"> Тому для промислових цілей використовують багатопозиційні вакуумні установки, що дозволяють, не порушуючи вакууму, послідовно або одночасно обробляти кілька підкладок.
В
Рис.2. Схематичне зображення вакуумної системи установки УВН-2М-2. p align="justify">-карусель випарник; 2-екрани, 3 - діаграма; 4 - карусель трафаретів і підкладок; 5-нагрівач підкладок; 6-датчик опору плівки; 7 - електроди іонної очистки; 8-колектор; 9 - заслінка
Характеристика матеріалів плівкових елементів
Матеріал підкладки.
Найменування матеріалаКоеффіціент теплопровідності, Вт/м? градДіелектріческая проникність, ? Температурний коефіцієнт лінійного розширення, град -1 10 -6 Сіталл СТ50-12-328, 55 В± 0,2
Матеріал для тонкоплівкових резисторів.
Найменування матеріалаУдельное поверхневий опір, Ом /? Діапазон одержуваних опорів, ОмТемпературний коефіцієнт опору, 10 -4 град -1 Допустима питома потужність розсіювання Вт/мм 2 РС-3710500-300150-100000 - (1 Г· 2,5) 0,02
Матеріал для провідників.
МатеріалТемпература плавлення, 0 САтомная массаПлотность 10 6 г/мУсловная температура випаровування 0 СКоеффіціент теплопровідності, Вт/м КТемпературний коефіцієнт опору, 10 -4 До -1
