br/>
Аналіз виразу (2.4) показує наступне:
1) існують деякі порогові значення щільності потоку падаючих частинок j до , нижче яких зародження конденсованої фази який відбувається;
2) граничне значення j до залежить від температури; при зниженні температури поверхні підкладки порогове значення j до зменшується.
Аналогічні висновки можна зробити по відношенню до температури. Максимальне значення температури T до , при якій відбувається конденсація, отримало назву критичної температури або температури Кнудсена. Значення T до залежить, в основному, від природи атомів металу, щільності падаючих частинок, стану поверхні підкладки. Наявність в падаючому на поверхню потоці заряджених частинок, атомних асоціатів (часток з декількох атомів) сприяє процесам зародкоутворення, т. к. збільшується ф а і знижується ймовірність переходу частинок в газову фазу. p> У процесі подальшого осадження атомів відбувається зростання утворилися зародків. Приєднання атомів до зародкам здійснюється двома способами:
1). безпосереднє захоплення атомів з газової фази. Даний перенесення є невизначуваного на початкових стадіях осадження, коли розмір зародка малий. Він домінує на пізніх стадіях росту островковой плівки. Частка атомів, приєднуваних до зародку таким шляхом,
б = (N з S r ) -1 ,
де S r ~ РR 2 3 -середня площа окремого зародка; R 3 - радіус зародка; N-щільність зародків. p> Обложені на поверхні атоми в умовах прояву сильного зв'язку їх з поверхнею формують купол частинки, визначають її зовнішню форму (Сферичну, елліпсовіднимі, пірамідальну або яку то іншу). p> 2). Захоплення зародком дифундуючих по поверхні підкладки адсорбованих атомів. Зародки є стоком дифундують атомів. Навколо зародка утворюється зона з градієнтом щільності адсорбованих атомів (малюнок 2.5), який і визначає напрямок і щільність потоку дифузії. Ширина градієнтної зони порівнянна з довжиною дифузійного пробігу адатомів металу.
В
Для характеристики процесу осадження вводять в розгляд зону захоплення зародка А (t, R з ) - ефективна ділянка площі поверхні, при попаданні на який атом неминуче конденсується, тобто захоплюється зародком. З урахуванням можливості одночасного зростання зародків за двома розглянутим вище механізмам ефективна площа зони захоплення наближено може бути оцінена за допомогою вираження
.
Для характеристики кінетики процесу осадження атомів вводять коефіцієнт конденсації. Розрізняють:
- миттєвий коефіцієнт конденсації:
; ;, br/>
де - щільність потоку атомів, приєднаних до зростаючим зародкам в даний момент часу за диференційно малий його проміжок; - щільність потоку атомів, реіспаренних в газову фазу з поверхні;
-інтегральний кое...
