мпоненти установки МЛЕ. У першу чергу матеріал повинен мати низький тиск пари. Низька швидкість випаровування зменшує концентрацію забруднюючих речовин в робочому обсязі. Тому для виготовлення компонентів установки використовують тугоплавкі метали. Система МЛЕ повинна знаходитись завжди під високим тиском. При розгерметизації камера наповнюється забрудненнями. Чим менше система буде повертатися до атмосферного тиску, тим ефективніше будуть відбуватися в ній процеси вирощування. Сучасні системи складаються з двох камер: завантаження підкладок і вирощування. При завантаженні підкладок камера зростання залишається в надвисокому вакуумі. Так само можна виділити додаткову секцію для еффузіонних осередків. Це дозволити наповнювати їх без розгерметизації камери зростання. Ростові камери сучасних технологічних комплексів МПЕ обладнані, як правило, квадрупольним мас-спектрометром для аналізу залишкової атмосфери в камері і контролю елементного складу на всьому технологічному процесі. Для контролю структури і морфології формованих епітаксійних структур в камері зростання розташовується також дифрактометр відображених швидких електронів. Часто ростові камери або в багатокамерних комплексах МЛЕ в камері для підготовки та аналізу підкладок і епітаксійних структур розташовуються електронна гармата з енергоаналізатором вторинних електронів і іонна гармата для очищення підкладок іонним травленням і пошарового аналізу складу епітаксійних структур. Так само для дослідження гладкості поверхні використовують метод еліпсометрії. Можливість контролю безпосередньо в процесі вирощування - одне із значних переваг МЛЕ. В даний час більшість установок для МЛЕ складаються з автоматизованих модулів, які поділяються на технологічні та допоміжні. Технологічні модулі призначені для проведення певного технологічного процесу - очищення підкладок, осадження плівок, аналізу формованих структур і т.д. Допоміжними є, наприклад, модуль завантаження-вивантаження, модуль попередньої відкачки і знегажування вакуумних камер і ін Вхідні до складу комплексу МЛЕ модулі з'єднуються між собою шлюзовими пристроями та системою переміщення підкладок і зразків з одного модуля до іншого без порушення вакууму.
В
Малюнок 1.2 - Схема установки МЛЕ [12].
. ПРИСТРІЙ ВСТАНОВЛЕННЯ ТА ПРИНЦИПИ ДІЇ
.1 РОБОЧИЙ ОБСЯГ
Робочий об'єм (РО) робиться з нержавіючої сталі. Для створення надвисокого вакууму (P = 10 -10 Торр) робочий об'єм обезгажівается багатогодинним прогріванням до температур близько 300 - 400 o С. Обезгажівать при великих температурах не можна, тому близько 500 o С починається інтенсивна дифузія вуглецю з нержавіючої сталі. Це...
