всієї інформації про конкретний МФУ, то виникає потреба у вимірах всього розмірного діапазону за допомогою одного приладу. Проте на даний момент не існує ні однієї методики вимірювання МФУ, яка дозволила б досягти високого дозволу при великому полі зору. Тобто неможливе застосування одного і того ж інструмента для отримання абсолютно всіх необхідних відомостей про наявні властивості та характеристики, що представляють важливість для роботи МФУ [6]. Найчастіше отримати всі результати вимірювань вдається за допомогою декількох інструментів, що викликає згодом певні труднощі при порівнянні, інтерпретації та погодження даних, отриманих різними приладами. Значна площа вимірювань з роздільною здатністю в нм може бути досягнута за допомогою методів В«зшиванняВ» зображень. При цьому необхідно забезпечити реперні точки, за допомогою яких можна буде орієнтувати окремі локальні зображення відносно один одного. Застосування методів скануючої інтерферометрії (СІ), конфокальної лазерної скануючої мікроскопії (КЛСМ) та атомно-силової мікроскопії (АСМ) забезпечує отримання зображення з досить протяжного поверхневого ділянки, при цьому рівні дозволи будуть залежати від використовуваного способу. Так, метод КЛСМ забезпечує грубе якість зображення, яке дозволяє зробити оцінку висоти або глибини формованих мікроструктур, а метод АСМ - чіткі детальні зображення, дозвіл яких високо. Для отримання зображення з максимально високим дозволом ділянки великої протяжності (АСМ спосіб) потрібно спочатку провести розподіл міток, призначених для подальшої В«зшиванняВ» знімка. При цьому площа всіх окремих ділянок і мітки на них повинні визначатися можливостями конкретного методу і застосовуваного приладу. Так як метод АСМ здатний видати максимальне значення просторового дозволу, то мітки будуть обмежені максимальним полем зору даного мікроскопа. Розміщення міток фіксується за допомогою приладу, що володіє найбільшим полем зору - КЛСМ або СІ. Слід враховувати, що висота вимірювань (якщо необхідно провести точні вимірювання) буде обмежена можливістю АСМ, глибокі структури складно точно виміряти. У роботі [6] був запропонований метод зшивання профілю зображень, в якому використовується перекриття координатних маркерів для вирівнювання і В«зшиванняВ» окремо виміряних профілів пристрою. Вимірювання мікрофлюідних каналів, проведені за допомогою атомно-силового мікроскопа, зшиті з точністю 0,086 мкм. Використовувалося поєднання АСМ і скануючого інтерферометра білого світла. p align="justify"> Що надають на роботу МФУ фактори можна віднести до трьох категорій, на які в свою чергу, впливають такі параметри [4]: ​​
Гј розміри і геометрія мікроструктур, включаючи ширину каналу, його глибину і довжину, форму перетину, висоту структур, перпендикулярність утворюють поверхонь, а також паралельність стінок каналів;
Гј властивості поверхні, включаючи топологію поверхні, її...
