зані один з одним. Як приклад можна розглянути визначення провідності за допомогою вимірювання товщини металізованої доріжки і виявлення чистоти використовуваного матеріалу. p align="justify"> Прийнято виділяти такі види спільних завдань вимірювань, виконання яких необхідно в мікро-і нанометрології [5]:
Гј висоту або глибину реактора, каналу або структури;
Гј ширину реактора, каналу або характерний розмір структури;
Гј відстань між межами розділу середовищ, двома лініями або площинами в мікроструктурах;
Гј текстуру і шорсткість;
Гј геометрію (форму) - перетин каналу або іншого елемента;
Гј товщину шарів;
Гј відношення ширини структури до його глибині - аспектне співвідношення.
Слід зазначити, що охопити всю область вимірювань з метою дати повну характеристику МФУ за допомогою перерахованих видів задач вимірювань неможливо. Якщо, наприклад, використовуються еластомерниє композиції, то крім цих завдань виникає необхідність у вимірі модуля Юнга, тобто контролі пружності локальних ділянок поверхні. p align="justify"> Метрологічний процес значно ускладнюється тим, що вимірювання повинні проводитися в процесі отримання (формування) структур. У деяких випадках основоположними операціями стають точність накладення маски і позиціонування, наприклад, при створенні багатошарових пристроїв або аналогічних систем. Контролювання і вимірювання товщини утворених плівок також є нетривіальним завданням, тому що одночасно необхідно контролювати стан матеріалу з метою запобігання появи на ньому будь-яких забруднень, а також змін його властивостей і характеристик під час обробки [2]. p align="justify"> Всі структурні елементи, що входять до МФУ (навіть при розгляді самого простого мікрофлюідних чіпа (МФЧ)) володіють рядом геометричних характеристик: формою, розмірами, пропорціями, здатними визначати протягом рідини. Властивості матеріалу, використовуваного для виготовлення структур, впливають на характеристики, від яких залежить рух частинок або молекул аналіту і самої рідини. Завдяки таким властивостям можна спостерігати різноманітні поверхневі ефекти, складні електромеханічні процеси і пр. Акцентуємо увагу на тому, що в МФУ можна зустріти компоненти різних розмірів, починаючи від нм і доходячи до тисяч мкм. p align="justify"> Для контролю таких МФУ необхідно отримання даних на декількох розмірних рівнях, включаючи нанометрові розміри (шорсткість поверхні та ін), мікрометровие (діаметр реакційної камери, ширина і глибина структур), міліметрові (довжина каналу, радіус його вигину, розміри мікрореактори). У зв'язку з тим, що потрібне отримання ...
