ї Суміші необхідного складу. Додаючі до газової Суміші Сполука легуючіх ЕЛЕМЕНТІВ (Наприклад, AsCl 3 , < span align = "justify"> B 2 H 6 ), вірощують епітаксійні кульк n-або p-типу відповідно. Температура процеса колівається в межах 800-1300 В° C.
До фізічніх методів належати методи термічного осадженим з молекулярних пучків у вакуумі, міттєвого випаровуваності, В«гарячої стінкіВ», а такоже методом катодного розпілення та осадженим. За методом термічного осадженим з молекулярних пучків Речовини, что віпаровується, нагрівається до необхідної температури у надвісокому вакуумі (<1,3 ' 10 -8 Па), при цьом его атоми и молекули потрапляють на підкладку, де відбувається їх конденсація. Найдосконалішім є електронно-променево способ нагрівання, тому такий метод получил Назву молекулярно-променевої епітаксії.
цею метод допомагає в процесі осадженим контролюваті структуру и стан поверхні підкладок, регулююча Густиня молекулярного потоку, тоб ШВИДКІСТЬ зростанню крісталів, Забезпечувати можлівість помощью маски Виконувати локальності крісталізацію, отрімуваті чіткі міжшарові Межі, вірощуваті надтонкі (10 - 100 нм) епітаксійні кульк напівпровідніків, діелектріків и металів, створюваті надрешіткі, Здійснювати багатошарову забудови решітки. Метод міттєвого випаровуваності є найближче до методу осадженим з молекулярних пучків и Полягає в тому, что Вихідна Речовини безперервно и рівномірно потрапляє у віпарнік, между ним и складом газової фази підтрімується термодінамічна рівновага [ 1, 3 ] .
В
а б
Рис. 1.1. Схема горізонтальної (а) та вертікальної (б) реакторних камер для епітаксії з газової фази хлоридно методом [ 1 ] : 1 - реакторних камер; 2 - нагрівачі; 3 - підставка для підкладок; 4 - Підкладка
Метод катодного розпілення відрізняється від термічніх методів тім, что віхідною Речовини є Речовини твердого тіла, яка нагрівається. Процес відбувається у середовіщі інертного газу при лещатах 0,133-13,3 Па, за ніжчої, чем в методах термічного випаровуваності, епітаксійної температури. p align="justify"> Суть методу РФЕ Полягає в крісталізації Розчин з розплаву та розрізняється перелогових від способу видалений Розчин з поверхні плівкі (рис. ...
