ustify">) Таунсендовская іонізація - основна реакція, викликана електричним розрядом: Xe + e ® Xe + + 2e.
При концентрації електронів менше 10 13 см - 3 йде тільки таунсендовская іонізація, а ступінчаста іонізація починає домінувати після 10 14 см - 3, оскільки накопичується Xe *. При ступінчастою іонізації можливе зростання концентрації електронів в плазмі при зменшуваною напруженості електричного поля.
) Збудження рівнів HCl. Коливальні рівні HCl збуджуються електронами з малою енергією HCl (0) + e ® HCl (i) + e,
тому відбувається збільшення концентрації молекул HCl (1), HCl (2) і HCl (3), а щільність молекул HCl (0) убуває.
) Диссоциативное прилипання. HCl (i) + e ® H + Cl -.
Реакція кожного i-го рівня молекули HCl (i) характеризується певною швидкістю процесу. Позначимо константи швидкостей реакцій K i для кожного i-го рівня молекули HCl (i). Наступне співвідношення K пр (0)
Динаміка взаємодії молекули HCl c електроном виглядає так:
Спочатку є тільки концентрація молекул HCl (0);
Потім із зростанням концентрації електронів збільшується кількість порушених молекул HCl (i) (2-я група реакцій);
Швидкість загибелі електронів сильно зростає із зростанням концентрації HCl (i) з огляду великих швидкостей реакцій з вищих i-их станів.
У стаціонарному стані швидкість народження і загибелі електронів рівні, тобто dn e / dt=0. Розвиток розряду характеризується зростанням концентрації електронів dn e / dt> 0, проте одночасно з розвитком розряду відбувається наростання прилипання - догляд електронів з плазми. Але швидкість іонізації в плазмі продовжує збільшуватися за рахунок включення ступінчастою іонізації.
) Іон-іонна рекомбінація. Перетин зіткнення позитивного іона Хе + і негативного Сl - дуже велике завдяки кулоновской силі тяжіння.
Реакція Xe + + Cl - ® XeCl ** - грає істотну роль в утворенні ексимерних молекул незважаючи на те, що концентрації іонів Xe + і Cl - у плазмі порівняно невеликі. Молекула XeCl ** утворюється на вищих збуджених рівнях відповідно з повною енергією системи складається з двох заряджених іонів Xe + і Cl - Такий стан дуже нестійка, вірніше поки окремі іони знаходяться на відстані близько 1 А вважають, що вони перебувають у стані XeCl ** . При цьому якщо система не втратить частину енергії відразливі сили не дозволять іонам утворити зв'язок, тобто виявитися в потенційній ямі. Втратити енергію молекула може в результаті зіткнення з деякою часткою XeCl ** + Ne ® XeCl (в) + kT.
В якості М може виступати будь-яка частка, але в осно?? Ном цю роль грає Ne:
XeCl ** + Ne ® XeCl (в) + kT.
Всі умови повинні бути такими, щоб напрацьовувалась максимальна концентрація робочих ексимерних молекул XeCl (в), тобто константа швидкості цієї останньої реакції повинна бути досить велика, щоб встигнути до розльоту іонів здійснити реакцію.
Неон легко вступає в реакцію з ксеноном: Xe + + Ne ® XeNe +,
т.к. енергетично таке пов'язане стан більш вигідно. Ця реакція йде з великою швидкі...
