иреними матеріалами для таких випарників є фольга товщиною 0,1 - 0,3 мм з вольфраму, молібдену і танталу. Випарник з поглибленням у вигляді півсфери, призначений для випаровування відносно малих кількостей речовини, показаний на рис.3. а. Випарники човнового типу (рис.3, 6) призначені для випаровування відносно великих кількостей речовини. p align="justify">
Випарники коробчатого типу. В
РНС. 4. Випарник непрямого нагріву коробчатого типу I - коробочка, 2 - потік парів завдається речовини, 3 - екран, 4 - пари испаряемого речовини, 5 - випаровується речовина
Якщо для металів завдяки їх високій теплопровідності випаровування у вакуумі є явище поверхневе, то для таких неметалевих речовин поганої теплопровідності, як діелектрики, існує велика ймовірність їх розбризкування при форсованому випаровуванні. У цих випадках застосовують випарники коробчатого типу (рис. 4), виконані з стрічки товщиною 0,1 мм у вигляді коробочки 1, в яку засипають випаровується речовину 5. Зверху коробочка закривається одношаровим або двошаровим екраном 3 з отворами, через які проходять пари 4 що наноситься. p align="justify"> Тигельні випаровувачі.
В
Рис. 5. Випарники прямого нагріву з тиглями з внутрішнім (а) і зовнішнім (б) спіральними нагрівачами 1 спіраль, 2 тигель
Тигельні випарники використовують, як правило, для випаровування великих кількостей сипучих діелектричних матеріалів. Тиглі виготовляють з тугоплавких металів, кварцу, графіту, а також керамічних матеріалів (нітриду бору, оксиду алюмінію корунду). Максимально допустима температура кварцу становить
1400 В° С, графіту 3000 В° С, оксиду алюмінію 1600 В° С. Два типи випарників з тиглями з кераміки показані на рис.5 а, б. у випарнику першого типу нагрівач у вигляді плоскої уліткообразно спіралі 1 розташовується в порожнині керамічного тигля 2, куди насипається випаровуваний матеріал. Такий випарник дозволяє випаровувати з високими швидкостями велика кількість речовини. У випарнику другого типу нагрівач у вигляді конусоподібної спіралі I розташований із зовнішнього боку керамічного тигля 2. p align="justify"> При рівній потужності харчування перший випарник нагрівається до більш високої температури, ніж другий. Однак гідністю второю є відсутність контакту матеріалу, який випаровується зі спіральним нагрівачем. Експлуатаційним недоліком тигельних випарників є те, що вони інерційні, так як мала теплопровідність матеріалу, з якого виготовляють тигель, не забезпечує швидкого нагрівання испаряемого речовини. p align="justify"> Електронно-променеві випарники.
В
Рис. 6. Електронно-променевої випарник 1 - полюсної наконечник, 2 - електромагніт, 1 - водоохолоджувального тигель, 4 - випаровуваний матеріал, 6 - термокатодом, 7 - фокусуюча система, 8 електромагнітний промінь, 9 - тонка пл...
