конденсатора або індуктивність котушки, можна домогтися того, що опір кварцу падає до нуля - частоти коливань електричного сигналу і кристала збігаються - настає резонанс. br/>В
Малюнок 7 - Спрощений вигляд резонансного чутливого елемента, виконаного на кварці.
Перевагою резонансних датчиків є висока точність і стабільність характеристик, яка залежить від якості використовуваного матеріалу.
До недоліків можна віднести індивідуальну характеристику перетворення тиску, значний час відгуку, що не можливість проводити вимірювання в агресивних середовищах без втрати точності показань приладу.
В· Індуктивний метод
Індукційний спосіб заснований на реєстрації вихрових струмів (струмів Фуко). Чутливий елемент складається з двох котушок, ізольованих між собою металевим екраном (малюнок 8). Перетворювач вимірює зміщення мембрани за відсутності механічного контакту. У котушках генерується електричний сигнал змінного струму таким чином, що заряд і розряд котушок відбувається через однакові проміжки часу. При відхиленні мембрани створюється струм у фіксованій основний котушці, що призводить до зміни індуктивності системи. Зсув характеристик основної котушки дає можливість перетворити тиск у стандартизований сигнал, за своїми параметрами прямо пропорційний прикладеному тиску. br/>В
Малюнок 8 - Принципова схема індукційного перетворювача тиску
Перевагою такої системи, є можливість вимірювання низьких надлишкових та диференціальних тисків, досить висока точність і незначна температурна залежність.
Однак датчик чутливий до магнітних впливів, що пояснюється наявністю котушок, які при проходженні змінного сигналу створюють магнітне поле.
В· Іонізаційний метод
В основі лежить принцип реєстрації потоку іонізованих частинок. Аналогом є лампові діоди (малюнок 9). br/>В
Рисунок 9 - Іоннізацінний датчик вакууму
Лампа оснащена двома електродами: катодом і анодом, - а також нагрівачем. У деяких лампах останній відсутній, що пов'язано з використанням більш досконалих матеріалів для електродів. Корпус лампи виконаний з високоякісного скла. p align="justify"> Перевагою таких лам є можливість реєструвати низький тиск - аж до глибокого вакууму з високою точністю. Однак слід суворо враховувати, що подібні прилади не можна експлуатувати, якщо тиск у камері близько до атмосферного. Тому подібні перетворювачі необхідно поєднувати з іншими датчиками тиску, наприклад, ємнісними. Крім іншого, іонізаційні лампи повинні оснащуватися додатковими приладами, оскільки залежність сигналу від тиску є логарифмічною. br/>
Таблиця 2. Основні переваги та недоліки різних методів перетворення тиску в е...
