ify"> Конструкція інтегрованої розпилювальної системи, дозволяє об'єднати в одному пристрої переваги двох типів розпилювальних систем: іонно-променевої та магнетронній. Загальний вигляд конструкції інтегрованої магнетронній розпилювальної системи представлена ??на малюнку 3.3, на малюнку 3.4 показано її пристрій.
променевої іонний плазмовий магнетронний
Малюнок 3.3 - Загальний вигляд конструкції інтегрованої магнетронній розпилювальної системи
Малюнок 3.4 - Конструкція інтегрованої магнетронній розпилювальної системи
Мішень 1 кріпиться притиском 2 з гвинтами до мішенедержателю 3, в конструкції якого передбачена порожнина для циркуляції рідини (система охолодження). Як охолоджуючої рідини будемо використовувати воду. Її подача і видалення буде проводитися за допомогою системи трубок. Герметичність системи охолодження забезпечуватиметься за допомогою прокладок і різьбових з'єднань. В якості бокового муздрамтеатру використовується підставу іонного джерела 6. Центральний магнітопровід 4 ізольований від мішенедержателя трубками і кутовими ізоляторами з фторопласту. Напруга на обмотку центрального соленоїда 5 надходить через токовводи 10, ізольовані від основи. У місцях кріплення магнетрона до основи встановлені ізолятори. Основними елементами іонного джерела є соленоїд 7, анод 8 і магнітопроводи 9.
Для спрощення операції зборки магнетрона і заміни мішеней передбачена можливість часткового розбирання. Для установки або заміни мішені досить зняти притиск. Розроблюваний магнетрон призначений для розпилення мішеней діаметром 80 мм і товщиною 5-7 мм.
4. Нормативно-технічна документація
У ході переддипломної практики були розглянуті нормативно-технічні документи, що використовуються при написанні диплома дослідницького типу. Основними з них є наступні:
ГОСТ 7.32-2001. Структура і правила оформлення звіту про науково-дослідній роботі.
ГОСТ 3.1201-85, в якому розглянуто правильне позначення технологічної документації.
ГОСТ 2.106-96 Єдина система конструкторської документації. Загальні вимоги до текстових документів.
ГОСТ 8.417-81 Державна система забезпечення єдності вимірювань. Одиниці фізичних величин.
ГОСТ 15.011-82 Система розробки і постановки продукції на виробництво. Порядок проведення патентних досліджень.
ГОСТ 2.102-68, де перерахована номенклатура конструкторських документів.
ГОСТ 2.103-68, де встановлені стадії розробки КД.
4.1 Оформлення текстових документів
Дуже важливим видом технічної документації є текстові документи. До них відносяться різні інструкції, технічні умови та описи, документи ремонтні та експлуатаційні, пояснювальні записки (ПЗ) і т.п. Загальні правила оформлення текстових документів регламентовані ГОСТ 2.105-95. Відповідно до вимог стандартів їх виконують за формами 5 і 5а. Основну напис і додаткові графи до неї виконують за ГОСТ 2.104-68. У дипломних та курсових проектах допускається пояснювальну записку (ПЗ) виконувати на звичайних аркушах формату А4 з дотриманням вимог ГОСТ 2.105-95.
ПЗ як правило виконується...
