ги мінімальні у центрі кристала і в центрах його сторін, а максимальні у кутах кристала. Узгоджені елементи по струму і напрузі необхідно розташовувати в місцях з мінімальним механічним напругою.
Ще однією важливою причиною неузгодженості елементів є пьезочувствітельность кремнію, що проявляється в зміні його питомого опору під дією механічних напруг. Тому узгоджені елементи необхідно розташовувати уздовж осей з мінімальною пьезочувствітельностью.
Джерелами неузгодженості також можуть бути технологічні чинники при виготовленні кристалів, наприклад, дефекти вихідної кремнієвої пластини, зсув масок при фотолітографії і нерівномірність травлення транзисторів ІМС, в сукупності викликають невоспроизводимость розмірів елементів ІМС, наявність негативного впливу сусідніх структур і електростатичне взаємодія, модуляції напруги і інжекції заряду, а також діелектрична поляризація. В результаті сукупності факторів (тобто в залежності від розташування пластин в робочих камерах, характеристик і параметрів технологічних установок) після проходження всіх етапів технологічного процесу на пластині формується складний рельєф мікроскопічних неоднорідностей. Тому при розробці проекту дуже важливо тісна співпраця топології і технолога.
Зважаючи вищевказаної багатофакторності, в даний час не існує загальних рішень мінімізації неузгодженості елементів в ІМС. Одним з варіантів мінімізації неузгодженості є оптимізація топології елементів у СФ-блоках ІМС. Наприклад, диференціальні пари і струмові дзеркала будуються на основі узгоджених транзисторів і чим точніше вони узгоджуються, тим менший дисбаланс струмів і напруг має місце в готовому блоці ІМС. Для мінімізації неузгодженості пропонуються принципи побудови топології узгоджених інтегральних елементів.
1.6 Побудова узгоджених елементів
У загальному випадку можна виділити 4 основних принципи побудови узгоджених елементів:
. Узгоджені елементи повинні складатися з ідентичних сегментів, організованих в масив.
2. Всі сегменти в масиві узгоджених елементів повинні мати однакову орієнтацію.
. Масиви сегментів узгоджених елементів повинні мати мінімально можливу відстань між геометричними центрами або (бажано) загальний центр.
. Повинні бути вжиті заходи щодо забезпечення рівних умов для крайових і внутрішніх сегментів масиву.
Далі розглянемо конкретні топологічні методи підвищення ступеня узгодженості інтегральних елементів.
