женому тиску (а), реактор з безперервним завантаженням, що працює при Pатм (б)
На рис.1а представлений реактор з гарячими стінками, що працює при зниженому тиску і використовуваний для осадження полікремнію, двоокису кремнію і нітриду кремнію. Такий реактор складається з кварцової труби, що нагрівається в трехзонной печі. Газова суміш надходить з одного кінця труби і відкачується з іншого. Дія механічного насоса іноді посилюється вентилятором Рутса. Тиск в реакційній камері звичайно становить від 30 до 250 Па, температура 300-900 ° С, а витрата газу 100 - 1000 см3/хв в перерахунку на атмосферний тиск. Підкладки встановлюються вертикально, перпендикулярно газовому потоку, в кварцовою човнику. Одночасно в реакторах такого типу можна обробляти від 50 до 200 підкладок. Для зміни динаміки газового потоку іноді застосовують спеціальні обтічники. Досягається однорідність товщини плівок ± 5%. Реактори з гарячими стінками, що працюють при зниженому тиску, можна легко збільшити (в масштабі) для обробки підкладок діаметром 150 мм. Основні переваги реакторів розглянутого типу - чудова однорідність плівок по товщині, великий обсяг завантаження і здатність обробляти підкладки великого діаметру. До недоліків належать низька швидкість осадження і часте використання отруйних, легкозаймистих або сприяють розвитку корозії газів.
На рис. 1б представлений реактор з безперервним завантаженням, що працює при атмосферному тиску. Такий реактор використовується для осадження двоокису кремнію. Зразки проходять через реакційну зону на конвеєрній стрічці. Реакційні гази, протікаючи через центральну частину реактора, відсікаються від атмосфери газовими завісами, освіченими дуже швидким потоком азоту. Підкладки нагріваються конвективним потоком. Перевагами реактора з безперервним завантаженням є висока пропускна здатність, хороша однорідність плівок і можливість обробляти підкладки великого діаметру. До недоліків відносяться велика витрата газів і необхідність частого очищення реактора.
плазмохімічним реактор з радіальним розподілом газового потоку (а), плазмохімічний реактор з гарячими стінками (б)
На рис. 2 а представлений плазмохімічний реактор з радіальним розподілом газового потоку. Реакційна камера являє собою скляний або алюмінієвий циліндр, що містить всередині два плоских алюмінієвих електрода у верхній і нижній частинах камери. Зразки розміщуються на заземленому нижньому електроді. Високочастотне напругу, що подається на верхній електрод, створює тліючий розряд між двома пластинами. Газовий потік протікає через камеру в радіальних напрямках. Зазвичай його вводять через крайні області камери і виводять з її центральній частині, хоча можливо і протилежний напрямок газового потоку. Газова суміш відкачується вентилятором Рутса, розташованим за механічним насосом. Нижній заземлений електрод нагрівається до температури 100-400 ° С резистивним нагрівачем або інфрачервоними джерелами випромінювання високої інтенсивності. Такі реактори використовуються для плазмохимического осадження двоокису або нітриду кремнію. Його головному достоїнству-низькій температурі осадження - супроводжують три наступних недоліку. Ємність реактора обмежена, зокрема в нього не можна поміщати підкладки великого діаметру. Підкладки повинні завантажуватися і розвантажуватися вручну, і, крім того, можливе їх забруднення падаючим ...
