, клапана, вимірники і регулятори витрати газів, колектори та стабілізатори тиску газів.
. Вакуумної або вентиляційної системи, що служить для забезпечення необхідних залишкових і робочих тисків, а також швидкостей відкачки або відведення надходять реагентів і продуктів реакцій у робочій, транспортної та шлюзовий камерах, автономних джерелах стимулюючих впливів і ХАЧ і складається з откачних (відвідних) колекторів або отворів, труб, клапанів, заслінок, вимірників і регуляторів тиску і швидкостей відкачки (відведення), л?? Вушек, фільтрів, вакуумних насосів, скруберів або нейтралізаторів вихлопних (відвідних) газів.
. Системи збудження і підтримки плазми розряду в робочій камері при проведенні плазмоактівіруемих (плазмостімулірованних) процесів осадження і процесів автоматичного очищення елементів робочої камери, а також в автономних джерелах для активації реагентів, що складається з генераторів і джерел електричних і магнітних полів, узгоджувальних пристроїв, кабелів або хвилеводів , вимірників і регуляторів підводяться потужностей.
. Системи термостатування випарників, ділянок газових каналів і откачних (відвідних) магістралей, електродів, стінок камер, подложкодержателей, що служить для вимірювання, регулювання та стабілізації їх температури і складається з нагрівачів, термостатів, труб, хладо-і теплоагентом, пристроїв їх перекачування, подачі і розподілу, вимірників і регуляторів температури.
. Системи завантаження - вивантаження пластин, касет, Сміф (стандартний механічний інтерфейс) контейнерів, транспортування та позиціонування пластин усередині установки, що складається з Сміф завантажувачів, прийомних і касет, завантажувальних і транспортних камер, пристроїв завантаження, переміщення, позиціонування і притиску пластин на подложкодержателях всередині установки.
. Системи контролю моменту закінчення процесу осадження функціонального шару (часу осадження), що складається з датчиків сигналів на основі оптичного емісійно-спектрального, лазерного інтерферометричного або мас-спектрометричного методів, оптичних і електронних пристроїв, а також спеціалізованих програмно-апаратних обчислювальних комплексів для обробки отриманих сигналів по необхідному алгоритмом.
. Системи управління, що служить для управління перерахованими вище системами, контролю режимів їх роботи і справності входять до них пристроїв і складається з керуючої ЕОМ з програмним забезпеченням, клавіатурою введення команд, дисплеєм і пристроїв запису, зберігання та передачі інформації по локальних і глобальних комп'ютерних мережах.
До конструкційних параметрам обладнання відносяться:
вага, розміри і конфігурація;
форма, матеріали, кількість, розміри і взаємне розташування функціональних вузлів і систем у складі установки, а також окремих елементів у складі цих вузлів і систем;
розміри, форма і матеріали необхідних підводок і відводок енергоносіїв для з'єднання і запуску установки;
розташування і розміри зони обслуговування установки.
Типи реакторів
На малюнках показані чотири основних типи реакторів, використовуваних для процесів осадження.
Реактор з гарячими стінками, що працює при зни...
