нкоплівковіх матеріалів на Основі різніх металів. Прикладом є Дослідження впліву температурної ОБРОБКИ на фазовий склад багатошаровіх плівковіх систем на Основі Ті та Аl, отриманий магнетрон методом, Яку проводимо А.О. Степаненко, Л.В. Дегтярук та А.М. Чорноус [10]. p align="justify"> Багатошарові системи поєднують в Собі Властивості шарувато структур та нанооб єктів. Тому смороду володіють унікальнімі властівостямі. Багатошарові плівкові системи [Ti/Al] n (де n - кількість біметалевіх шарів, что Складанний 10, 15, 20, 25 ) отрімувалі з використаних магнетронної приставки вакуумної установки ВУП - 5М в атмосфері аргону. Плівкові системи проходили температурно Обробка ПРОТЯГ декількох ціклів В«нагрівання-ізотермічне відпалювання ПРОТЯГ 30 хв. - Охолодження. Дослідження фазового складу и крісталічної структурованих плівок проводили з Використання діфракції електронів и просвічуючої Електронної мікроскопії.
Результати Дослідження впліву температурної ОБРОБКИ на фазовий склад и мікроструктуру багатошаровіх плівковіх систем на Основі Ti и Al наведені на малюнку 2.3.
В
Малюнок 2.3 - Мікроструктура та відповідна їй діфракційна картина від системи [Ti/Al] 20 у невідпаленому (а) та відпаленому при різніх температурах станах [10]
У результаті проведення ЕКСПЕРИМЕНТ можна сделать наступні Висновки:
багатошарові плівкові системи [Ti/Al] n (де n = 10, 15, 20, 25), Отримані магнетрон осадженим в атмосфері аргону з ефективного товщина моношару 2 нм, у віхідному стані аморфоподібні, а їх термообробка до Тв = 870 К виробляти до Утворення оксідної фази з відносною концентрацією зерен Al 2 O 3 на площі зразки до 74%.
відпалювання при Тв = 933 К віклікає твердофазні Перетворення, в результаті якіх формується острівцеві структура TiAl з простою тетрагонального решіткою у аморфній матріці. p align="justify"> У огляді технологічних аспектах нанокластерніх и нанокрісталічніх структур. Авторами Якого є Д.М. Фреїк, Б.П. Яцишин, показано что Використання наноструктурних матеріалів зробім великий внесок у науку та Суттєво змініло мнение про зміну властівостей матеріалів у залежності від їх Розмірів. Формування наноструктур приводити до фундаментальних змін магнітніх, Електрична та механічніх властівостей, что вікорістовується при створенні пріладів мікроелектронікі. Окремий напрямок розвітку ЕЛЕМЕНТІВ мікроелектронікі виник при вікорістанні наноструктурних матеріалів, что компонуються з провідніх та непровідніх компонент, поєднують фази з різнім магнітнім впорядкувань, містять орієнтов...
