Вимірювання локальної жорсткості (модуляційна методика).
Вимірювання опору розтікання.
Резонансна мода.
Топографія.
Фазовий контраст.
Магніто-силова мікроскопія.
Електрістатіческо-силова мікроскопія.
. Безконтактна мода.
Літографія.
Механічна.
Електрична.
Застосування АСМ
Фахівці з Massachusetts Institute of Technology і Stanford University запропонували терабітних щільність запису для ЗУ за допомогою АСМ технології при кімнатній температурі і на повітрі (локальне окислення на поверхні титану). Фахівці лабораторії Lindsay Florida Institute of Technology активно досліджують ДНК і РНК за допомогою методу АСМ. Фахівці Institute of Applied Physics and Microstructure Research Center, University of Hamburg досліджують плівки фулеренів С60 на різних поверхнях.
В Laboratory of Applied Physics, Linkoping University (Швеція) вивчається взаємодія в поліелектроліти.
Таким чином, дуже різноманітна тематика може бути порушена в дослідженнях за допомогою методу скануючої силової мікроскопії.
Однією з найбільш поширених різновидів «скануючої зондової мікроскопії», є атомно-силова мікроскопія (Мал. 1). Перший мікроскоп такого типу був сконструйований Г. Бінніг, Х. Гербером і С. Квайтом в 1986 році, після того як роком раніше Г. Бінніг показ принципову можливість неруйнівного контакту зонда з поверхнею зразка. світловий електронний мікроскоп зондський
Дійсно, якщо підвести зонд до зразка на відстань у кілька ангстрем, то між атомами, що утворюють вістря, і атомами, розташованими на поверхні зразка, почне діяти Ван-дер-ваальсово сила тяжіння. Під дією цієї сили зонд буде наближатися до зразка до тих пір, поки не почнеться електростатичне відштовхування однойменно (негативно) заряджених електронних оболонок атомів зонда і поверхні.
У перших атомно-силових мікроскопах зонд (голку кристалічного сапфіра) закріплювали на тонкій платинової фользі, за переміщенням якої стежили по зміні тунельного струму, за аналогією зі скануючої тунельної мікроскопією. В даний час зонд закріплюють на гнучкій балці, званої «кантільовери» або консоллю. При підводі зонда до зразка на відстань у кілька ангстрем і виникненні відразливого взаємодії «кантилевер» згинається до тих пір, поки тиск з боку зонда (обумовлений силою пружності консолі) не опиниться більше краю пружної деформації матеріалу зразка або зонда. Таким чином, основною властивістю «кантилевера» є його жорсткість, а підбір матеріалу і геометричних характеристик «кантилевера» дозволяє використовувати метод АСМ для самих різних додатків.
Переміщаючись в площині зразка над поверхнею, «кантилевер» згинається, відстежуючи її рельєф. Однак при скануванні зразка в контактному режимі поверхню зразка частково пошкоджується, а дозвіл методу виявляється досить низьким. Розробка методів напівконтактному і безконтактного сканування, коли, зонд входить в контакт з поверхнею тільки в нижній точці траєкторії власних резонансних коливань або не входить в контакт взагалі, дозволили збільшити дозвіл АСМ, значно знизивши тиск на зразок з боку зонда. Дл...
